Руководство пользователя (NV8200P)

О настоящем руководстве

О настоящем руководстве (продолжение)

Сокращения, используемые в настоящем руководстве

В настоящем руководстве используются следующие сокращения.

Сокращение	Сокращение (рус.)	Означает
(англ.)
AC	перем. ток	переменный ток
amp	амп.	амперы
ASA	ASA	Американская ассоциация по стандартизации
C	C	Цельсия (градусы)
cfm	куб. фут/мин	кубических футов в минуту
DC	пост. ток	постоянный ток
F	F	Фаренгейта (градусы)
gnd	gnd	заземление
gpm	галл/мин	галлонов в минуту
HeNe	HeNe	гелий неон
Hz	Гц	Герц
ISA	ISA	Международная ассоциация стандартизации
kPa	кПа	килопаскаль
kVA	кВА	киловатт-ампер
kw	кВт	киловатт
l/s	л/с	литров в секунду
MPa	МПа	мегапаскаль
MSDS	MSDS	паспорт безопасности материала
nm	нм	нанометр
PD	РМ	распределение мощности
PE	PE	внешний провод защитного заземления
pH	pH	мера кислотности и щелочности раствора
ppm	млн-1	частей на миллион
PS	БП	Блок питания
psig	фунт/кв.дюйм (м)	фунтов на квадратный дюйм по манометру
rms	ср. кв.	среднеквадратический
scfm	станд. куб. фут/мин	стандартных кубических футов в минуту
sls	сл/с	стандартных литров в секунду
VAC	В перем. тока	Вольты переменного тока

4640-0137-0001 Ред. A

xi

Раздел 1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Общее описание

Введение

Установка ионной имплантации серии Eaton NV-8200/8250 является полностью автоматизированной системой ионной имплантации среднего тока с параллельным сканированием и передачей пластин из кассеты в кассету. Она предназначена для ускорения отдельных атомов до исключительно высоких скоростей для внедрения этих атомов вглубь поверхности полупроводниковых пластин, с изменением тем самым их электрических характеристик.

Вкачестве оператора установки имплантации вы, возможно, захотите ознакомиться с основными компонентами этой машины, программным обеспечением и используемой на ней системой управления, а также с системами, задействованными в имплантации. Вам необходимо знать о средствах управления питанием и правилах техники безопасности, требующихся при выполнении имплантаций.

Вданном разделе дается общее описание всех этих тем.

Вданном разделе

Раздел включает следующие подразделы:

Тема	См. страницу
Общее описание оборудования	1-2
Средства управления питанием	1-8
Общее описание программного обеспечения	1-14
Общее описание системы управления	1-18
Общее описание систем имплантации	1-29
Требования обеспечения безопасности	1-41

4640-0137-0001 Ред. A

1-1

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Общее описание оборудования

Введение

Вданном разделе перечисляются основные функции оборудования установки имплантации серии NV-8200/8250, и подробно описывается консоль оператора.

Вданном подразделе

Данное общее описание оборудования включает следующие темы:

Тема	См. страницу
Основные функции оборудования	1-3
Зоны установки имплантации	1-4
Консоль оператора	1-5

1-2	4640-0137-0001 Ред. A

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Основные функции оборудования

Функции

В число основных функций оборудования установки имплантации серии NV-8200/8250 входят:

•полное управление установкой имплантации с консоли оператора (рабочая станция Sun с мышью и клавиатурой)

•робот (macobot) для автоматической обработки полупроводниковых пластин, от загрузки до возврата в исходную кассету

•осциллограф для вывода на дисплей тока пучка

•лазерный принтер

•светосигнальная колонка для индикации статуса машины (дополнительно)

•высоковольтный маячок для индикации включения питания управления (дополнительно)

4640-0137-0001 Ред. A

1-3

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Зоны установки имплантации

Вид сверху

На Рисунке 1-1 представлен вид сверху основных зон установки имплантации серии NV-8200/8250. Рисунок 1-1 Общий вид установки имплантации

Левая сторона

Передняя сторона

Высоковольтный

терминал

Консоль

оператора

Кожух приемой		Кожух высоковольтного
станции		терминала

Правая сторона

Задняя сторона

1-4	4640-0137-0001 Ред. A

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Консоль оператора

Компоненты консоли оператора

Основные компоненты консоли оператора показаны на Рисунке 1-2 и перечислены под рисунком.

Рисунок 1-2 Компоненты консоли оператора

Осциллограф

Монитор

Выключатель питания с
ключом	Ручка изоляции
	монитора
Дисковод для гибких	Накопитель на
дисков 3½ дюйма	ленте ¼ дюйма
Клавиатура	Полка с мышью

•ручка изоляции монитора (описывается на странице 1-6)

•монитор

•мышь с ковриком (описывается на странице 1-6)

•клавиатура (описывается на странице 1-6)

•складывающаяся полка под мышь с ковриком

•дисковод для гибких дисков 3½ дюйма

•накопитель на ленте ¼ дюйма

•осцилограф (описывается на странице 1-7)

•переключатель управляющего напряжения с ключом (описывается на странице 1-12)

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

1-5

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Консоль оператора (продолжение)

Ручка изоляции монитора

Ручка изоляции монитора используется для изоляции монитора рабочей станции Sun или для закрытия монитора защитным экраном. Защитный экран закрывается при использовании рабочей станции внутри корпуса имплантера.

Когда выдвижное окно закрыто, можно повернуть ручку изоляции монитора в положение высвобождения.

ОСТОРОЖНО

Не поворачивайте ручку изоляции монитора в положение высвобождения во время имплантации полупроводниковых пластин. Высвобождение монитора из герметичного положения открывает доступ воздуху из зоны оператора в корпус приемной станции установки имплантации. Это может вызвать увеличение числа частиц в чистом помещении.

Мышь и клавиатура

Мышь и клавиатура используются для обеспечения взаимодействия с программным обеспечением системы контроля, управляющей установкой имплантации:

Компонент		Описание
Мышь с ковриком		Каждая система включает трехкнопочную мышь и светоотра-
		жающий коврик мыши. Мышь содержит оптическое устрой-
		ство, посылающее и принимающее световые сигналы между
		мышью и ковриком. Информацию по использованию мыши
		см. в подразделе «Использование мыши» на странице 2-2.
		Когда они не используются, мышь с ковриком хранятся за
		дверцей непосредственно под монитором.
Клавиатура		С каждой системой поставляется механическая клавиатура.
		Если она не используется, клавиатура хранится вместе с мы-
		шью и ковриком.
		Продолжение на следующей странице

1-6	4640-0137-0001 Ред. A

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Консоль оператора (продолжение)

Осцилограф

Осцилограф представляет собой экран, расположенный выше монитора, на который выводятся два разных параметра пучка. Осцилограф является устройством отображения информации, то есть, он никаким образом не влияет на процесс имплантации. После его правильной настройки он не нуждается в регулировке.

Информацию о дисплее осцилографа см. в подразделе «Дисплей осцилографа» на странице 1-37.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

1-7

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Средства управления питанием

Введение

Установка ионной имплантации серии Eaton NV-8200/8250 включает ряд устройств управления питанием. Понимание функций и знание местонахождения каждого из них подготовит вас к действиям в экстренной ситуации. Средства управления показаны на Рисунке 1-3.

Рисунок 1-3 Местонахождение средств управления питанием

Кнопака остановки робота

Главный выключатель

Внешние выключатели для экстренной остановки

Выключатель высоковольного питания с ключом

В данном подразделе

Данный подраздел включает следующие темы:

Тема	См. страницу
Кнопки экстренной остановки	1-9
Главный выключатель	1-11
Выключатель высоковольного питания с ключом	1-12
Кнопка остановки робота	1-13

1-8	4640-0137-0001 Ред. A