- •1. Первичные преобразователи (датчики)
- •Измерения. Основные понятия
- •Метрологические характеристики
- •2. Схемы формирования сигналов пассивных датчиков
- •Потенциометрические схемы с резистивными датчиками
- •Дифференциальное включение датчиков
- •Использование мостовых схем
- •Расчёт мостового чувствительного элемента
- •Емкостные преобразователи перемещений
- •3. Разомкнутая и замкнутая структура измерительных устройств для датчиков
- •4. О физических свойствах веществ и эффектах в них, использованных в изделиях мст. Понятие тензора
- •О тензорном описании физических свойств кристаллов
- •Тензорное описание воздействий на кристалл (электрические, механические и тепловые воздействия) Электрическое воздействие
- •Механические воздействия
- •Тепловое расширение
- •5. Взаимная связь физических свойств и явлений в кристаллах
- •Пироэлектрический эффект
- •Пьезоэлектрический эффект
- •Историческая справка
- •Пьезоэлектрические материалы
- •6. Тензорезисторы
- •Конструкции тензорезисторов
- •7. Микросистемные датчики давления
- •8. Датчики ускорения, вибрации, удара, положения
- •Акселерометры
- •9. Вибрационные гироскопы
- •О применении микроакселерометров и гироскопов
- •10. Субмикронные магнитные сенсоры
- •Гигантское магнитное сопротивление (гмс)
- •11. Микросенсоры расхода (газа, жидкости)
- •12. Микронасосы
- •Клапанные микронасосы
- •Пьезоэлектрический возбудитель
- •Двухклапанный поршневой насос
- •Термопневматический микронасос
- •Бесклапанные микронасосы
- •Электрические микронасосы
- •13. Термоэлектрические сенсоры температуры
- •2. Резистивные сенсоры температуры
- •3. Полупроводниковые сенсоры температуры
- •4. Пьезоэлектрические датчики температуры
- •5. Использование сенсоров температуры в комбинации с другими преобразователями
- •5.1. Каталические сенсоры концентрации газов
- •5.2. Тепловые расходомеры
- •5.3. Акселерометры с нагревом газа
- •6. Бесконтактное измерение температуры
- •6.2. Принцип действия приемников теплового излучения
- •6.3. Сенсоры излучения на основе термоэлектрического и терморезистивного эффектов
- •6.4. Пироэлектрические датчики ик - излучения
- •6.5. Термопневматические детекторы
- •14. Характерные черты кристаллической структуры и виды химических связей
- •2. Описание структуры кристаллов. Пространственная решетка
- •3. Структура алмаза
- •4. Связь свойств кристаллов кремния со структурой его кристаллической решетки
- •5. Механические свойства монокристаллического кремния
- •6. Травление – один из способов формообразования при изготовлении элементов мст
3. Полупроводниковые сенсоры температуры
Характеристики полупроводникового р-n – перехода в диодах и биполярных транзисторах сильно зависят от температуры. Эти зависимости можно использовать для измерения температуры, главная трудность при этом – линеаризация характеристики сенсора [3].
Вольт-амперная характеристика р-n перехода описывается выражением:
I = I0 eхр,
где I0 – ток насыщения перехода, значение которого также зависит от температуры.
Если задавать ток I через переход, то напряжение на нем можно представить в виде:
V = (ln k – ln I),
здесь Еq - ширина запрещенной зоны кремния, при Т=0;
q – заряд электрона; k – константа.
Отсюда видно, что если фиксировать ток I, напряжение на переходе будет линейно зависеть от температуры, причем наклон этой зависимости определяется выражением:
b = ( ln k – ln I).
Соответствующие графики представлены на рис.7.
Рис.7. Зависимость напряжения от температуры прямосмещенного кремниевого перехода при постоянном токе
Таким образом, любой прямосмещенный диод, запитанный от источника постоянного тока, можно использовать как чувствительный элемент датчика температуры, измеряя снимаемое с него напряжение. Подобный датчик можно получить используя биполярный транзистор (рис.8).
Рис. 8. Простейшие сенсоры температуры на
полупроводниковом диоде (А) и биполярном транзисторе (В)
Но наибольшее распространение нашли датчики температуры на основе использования напряжения база – эмиттер биполярного транзистора [3], которое определяется выражением:
VБЕ = ,
где IC - ток коллектора, IS - тепловой ток коллекторного перехода.
Возьмем N+1 совершенно одинаковых транзисторов и все (кроме одного) соединим параллельно, согласно рис. 9 (обычно такие транзисторы выполняются на одном чипе).
Зададим в N транзисторах суммарно тот же ток коллектора IC, что и в одиночный транзистор, тогда разность напряжения база – эмиттер одиночного и группы транзисторов составит:
VБЕ = VБЕ – VN = .
Таким образом, разность напряжений VБЕ пропорциональна абсолютной температуре.
Рис.9. К сравнению напряжений VБЕ одиночного и VN группы транзисторов
На этом принципе можно построить множество практических схем измерения температуры. Как пример, рассмотрим так называемую ячейку Брокау (рис.10).
Рис. 10. Ячейка Брокау (А) и цепочка резисторов в эмиттерах транзисторов (В)
Транзистор VT2 составлен из N параллельно включенных транзисторов, идентичных транзистору VT1. Разность потенциалов эмиттеров транзисторов выделяется на резисторе R2, через него же течет ток эмиттера VT2. Очевидно,
IE2 = .
Коллекторные токи I1 и I2 поддерживаются одинаковыми за счет отрицательной обратной связи через операционный усилитель. Рассмотрим цепочку в эмиттерах транзисторов (рис. 10, В). Через резистор R1 протекает ток обоих транзисторов, поэтому
2IR1 = VT, далее
IR2 = ΔVБЕ .
Приравняв токи, получим
,
откуда, используя полученное ранее выражение для ΔVБЕ , имеем
.
Существует множество разновидностей подобных схем, рассмотренных, например, в [3].
Контрольные вопросы.
1. Физические основы и возможности реализации сенсоров температуры на базе p-n-перехода (диода) и биполярного транзистора.
2. Принцип действия датчиков температуры на основе измерения напряжения между базой и эмиттером в биполярных транзисторах.
3. Датчик температуры на основе ячейки Брокау.