В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Плазмохимическое травлениение
Реактивное плазменное |
Радикальное |
контакт с плазмой |
плазма – источник радикалов |
1.Образование в плазме химически активных ионов и радикалов.
2.На поверхности образуется летучий продукт, десорбирующий с поверхности.
Ю.И.Бельченко. Плазменные технологии (курс лекций)
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Ионноефрезерованиеи травлениеление
MEMS technology
В микроэлектронике:
планарные многослойные пластины (глубокие канавки)
В машиностроении:
канавки и сложные профили
Ю.И.Бельченко. Плазменные технологии (курс лекций)
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Ионноефрезерованиеи травлениеление
M. Shearn, et al., Advanced Plasma Processing: Etching, Deposition, and Wafer Bonding Techniques for Semiconductor Applications
Осаждениеплёнок В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Ю.И.Бельченко. Плазменные технологии (курс лекций)
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Методыполучения плёнокок
Ю.И.Бельченко. Плазменные технологии (курс лекций)
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Применениепокрытийв медицинеицине
Ю.И.Бельченко. Плазменные технологии (курс лекций)
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Плазмохимическое осаждение ((PECVDPECVD))
плазма + реактивный газ
Ю.И.Бельченко. Плазменные технологии (курс лекций)
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Стеклосмногослойным покрытиемытием
Ю.И.Бельченко. Плазменные технологии (курс лекций)
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Плоскиетелевизорыи мониторыторы
Seiji Samukawa, et al., J. Phys. D: Appl. Phys. 45 (2012) 253001
IEEE NSS Conf. exhibition in COEX Center, Seoul, 29.10.2013
В.В.Поступаев * Физика плазмы, тема 15
Дуговыеплазматроны
плазмотроны - электродуговые генераторы термической плазмы
1 - внутренний (торцевой) электрод
2 - цилиндрический выходной электрод
3 - изолятор
4 - электрическая дуга
Мощности: до ~МВт в стационаре.
Проблемы: охлаждение электродов, капельная эрозия.
Применения: Плазменная сварка Плазменная резка Плазменная плавка
Реактор для производства химических соединений Производство мелкодисперсных материалов
Уничтожение отходов
…
