- •Оглавление
- •Классификация мэт
- •Проводниковые материалы
- •Физическая природа электропроводности металлов
- •Зависимость электропроводности металлов от температуры и примеры
- •Электрические свойства металлических сплавов
- •Сопротивление проводников на высоких частотах
- •Сопротивление тонких металлических плёнок. Размерный эффект
- •Контактные явления в металлах
- •Материалы высокой проводимости. Медь
- •Алюминий
- •Сверхпроводящие металлы и сплавы
- •Специальные сплавы
- •Сплавы для термопар
- •Сплавы для корпусов приборов
- •Тугоплавкие металлы
- •Благородные металлы
- •Неметаллические проводящие материалы
- •Полупроводники. Классификация полупроводниковых материалов
- •Собственные и примесные полупроводники
- •Температурная зависимость концентрации носителей заряда.
- •Подвижность носителей заряда в полупроводниках
- •Электрофизические явления в полупроводниках.
- •Кремний
- •Физико-химические и электрические свойства Si
- •Марки кремния.
- •Германий
- •Физико-химические и электрические свойства германия
- •Карбид кремния (SiC)
- •Полупроводниковые соединения аiii вv
- •Твердые растворы на основе аiii вv
- •Полупроводниковые соединения aiibvi и трз на их основе
- •Полупроводниковые соединения aivbvi и трз на их основе
- •Диэлектрики, классификация, основные свойства
- •Электропроводность диэлектриков
- •Потери в диэлектриках
- •Пробой диэлектриков
- •Полимеры в электронной технике
- •Композиционные пластмассы и пластики
- •Электроизоляционные компаунды
- •Неорганические стекла
- •Ситаллы
- •Керамики
- •Активные диэлектрики
- •Сегнетоэлектрики
- •Пьезоэлектрики
- •Пироэлектрики
- •Электреты
- •Жидкие кристаллы
- •Материалы для твердотельных лазеров
- •Магнитные материалы. Их классификация
- •Магнитомягкие материалы
- •Магнитотвердые материалы
- •Технология получения материалов электронной техники Методы получения тонких пленок
- •Вакуумные методы. Термическое вакуумное напыление.
- •Кинетика процесса конденсации. Роль подложки
- •Создание вакуума в вакуумных установках
- •Измерение вакуума
- •Вакуумные установки термического напыления
- •Катодное вакуумное распыление (диодное)
- •Ионно - плазменное распыление
- •Эпитаксиальные процессы в технологии материалов электронной техники
- •Механизм процесса эпитаксии
- •Автоэпитаксия кремния
- •Гетероэпитаксия кремния
- •Эпитаксия полупроводниковых соединений аiiibv и трз на их основе
- •Температурно - временной режим эпитаксии
- •Эпитаксия SiC
- •Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев
- •Элионные технологии
- •Ионно-лучевые установки
- •Механическая обработка полупроводниковых материалов
- •Шлифование и полирование пластин
- •Химическая обработка поверхности полупроводника
- •Методы отчистки поверхности
- •Фотолитография (операции, материалы)
- •Нанотехнология, определения и понятия
- •Инструменты для измерения наноструктур
- •Наноструктуры и наноустройства
- •Методы нанотехнологий
Физико-химические и электрические свойства Si
Si - кристаллизуется в структуре алмаза. Связь ковалентная. = 1.12 эВ.
В химическом отношении относительно инертен. Хорошо растворим лишь в смеси HNO3+HF и кипящих щелочах. Окисление до SiO2 происходит при t > 9000С. Тпл = 14140С, d = 2.33 г/см3, а = 0.5431 нм.
При 1100-1300 взаимодействие с N2 с образованием Si3N4. Хорошо растворим во многих расплавленных металлах, с рядом из них образует силициды.
При взаимодействии Si с С образуется карбид SiC – очень устойчивое химическое соединение с полупроводниковыми свойствами.
Собственная проводимость может быть при <1016 м-3, что не достигается современными методами очистки.
Расплав Si имеет в 30 раз меньше, а плотность на 10% больше. В расплаве Ом*м и ведет себя подобно жидким металлам.
Атомы элементов III и V групп Периодической системы, являясь соответственно акцепторами и донорами, создают мелкие уровни в запрещенной зоне с энергией ионизации примерно 0.05 эВ. Одним из основных методов легирования полупроводниковых пластин Si и создания “p-n” переходов является диффузия электрически активных примесей. Их максимум растворимости при 1200-13000С. Из-за ограничений в растворимости примесей и относительно низкой подвижности носителей заряда затруднено получение монокристаллов Si с < 10-5 Омм.
Марки кремния.
В условное обозначение слитка монокристалла Si входит:
1. Наименование (К-кремний)
2. Тип электропроводности (Э-электронный, Д - дырочный)
3. Легирующая примесь (Б - бор, Ф – фосфор, С – сурьма)
4. Номинал удельного электрического сопротивления (от 0.005 до 80 Ом*см)
5. Группа марки
6. Подгруппа по диаметру монокристалла и базовой длине:
диаметр 62.5 мм -“а”,78.5 мм -“б”,102.5 мм -“в”,127.5 мм -“г”,152.5 мм -”д”;
длина а-100 мм, б-15 мм, в,г,д-250 мм.
7. Отклонение от номинального диаметра после калибровки до 60, 76, 100, 125, 150 мм –
8. Кристаллографическая ориентация:
- нет индекса, - “м”, - “э”
9. Отсутствие свирлевых дефектов: с1-для с2-для
10. ГОСТ.
Пример наименования: ГОСТ 19658-81
Иногда при изготовлении слитков по другим технологиям в обозначение вводят буквы “М” – моносилановый метод, “Б” – бестигельное зонное плавление (КМД-5, БКЭ-2А).
Эпитаксиальные слои по ТУ обозначают n-n+, n-p, p-n+ , где первый индекс - электропроводность полупроводникового слоя, а второй индекс – подложки. Знак ”+” обозначает сильное легирование.
Для ИМС обозначение имеет вид дроби:
Для защиты поверхности Si в приборах наращивают защитное покрытие из SiO2 , путем нагрева при 1100-13000С в атмосфере O2 до толщин = 0.2 1.2 мкм.
В изготовлении больших ИС все большее распространение получает полукристаллический кремний. Осаждение проводят путем термического разложения силана SiH4 при 700 , (то есть значительно больше сопротивления монокристалла). Из него выполняют резисторы, межсоединения, элементы транзисторов, обеспечивают надежную диэлектрическую изоляцию между элементами ИС. То есть делается комбинация элементов монокристаллического кремния и поликристаллического, что увеличивает плотность элементов и быстродействие ИС. Для увеличения проводимости поликристаллического кремния его легируют.