Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Слободенюк, Г. И. Квадрупольные масс-спектрометры

.pdf
Скачиваний:
10
Добавлен:
22.10.2023
Размер:
16.18 Mб
Скачать

Г. И. СЛОБОДЕНЮК

КВАДРУПОЛЬНЫЕ

М А С С -С П ЕК Т Р О М ЕТ Р Ы

М О С КВ А А ТО М И ЗД А Т 1974

УДК 531.75

С л о б о д е н ю к

Г.

И.

Квадрупольные масс-спектромет­

ры. М., Атомиздат,

1974,

272

с.

Книга посвящена описанию одного из наиболее перспек­ тивных быстродействующих динамических масс-спектромет­ ров, которые найдут широкое применение в различных обла­ стях науки и техники при решении таких аналитических за­ дач, как анализ состава остаточной газовой среды и молеку­ лярных потоков вещества в вакууме (имеющих, в частности, большое значение для развития тонкопленочной и полупро­ водниковой интегральной микроэлектроники); газоанализ; исследование кинетики химических реакций, процессов сорб­ ции— десорбции различных газов на поверхностях твердых тел; анализ состава нейтрального и ионизированного компо­ нентов при зондировании верхних слоев атмосферы, при диагностике плазмы; в медицине и т. д. Подробно рассмот­ рена теория работы квадрупольных масс-спектрометров, про­ анализированы их предельные возможности. Дан анализ раз­ личных вариантов конструкции приборов, и на конкретных примерах отечественных квадрупольных масс-спектрометров выявлены тенденции развития квадрупольной масс-спектро- метрии.

Таблиц — 4. Иллюстраций — 70. Библиография— 113 на-

j Ч|4ТДЛЬНОГО ЗАЛА

Генрих Иванович Слободенюк

КВАДРУПОЛЬНЫЕ МАСС-СПЕКТРОМЕТРЫ

Цена 1 р. 70 к.

Атомиздат, 103031, Москва, К-31, ул. Жданова, 5/7.

Московская типография № 6 Союзполиграфпрома при Государственном комитете Совета Министров СССР

С

30306—031

31-74

© Атомиздат, 1974

034(01)—74

 

ПРЕДИСЛОВИЕ

Развитие масс-спектрометрической техники за пос­ ледние 10—15 лет вызвано растущей потребностью мно­ гих отраслей науки и техники в масс-спектрометрах, обладающих одновременно высокой чувствительностью, разрешающей способностью и скоростью регистрации масс и работающих в широком диапазоне масс и дав­ лений. Зачастую необходимо, чтобы это были малога­ баритные приборы, достаточно простые и надежные в обращении, а также по возможности нечувствительные к различным мешающим внешним факторам: присутствию в атмосфере датчика прибора самых разнообразных, в том числе и агрессивных, веществ или воздействию на датчик и аппаратурную часть прибора электромагнит­ ных полей, вибраций, ускорений и др. Для максималь­ ного удовлетворения большей части перечисленных тре­ бований усилия разработчиков масс-спектрометрической аппаратуры направлены на поиски и реализацию новых,

а также на совершенствование старых методов масс-ана- лиза.

Настоящая работа посвящена описанию одного из перспективных новых динамических методов анализа с помощью квадрупольного фильтра масс. Написание этой книги вызвано почти полным отсутствием в отечествен­ ной литературе, кроме статей [1—5] обзорного характе­ ра, сведений о приборах такого рода, об их конструкции и параметрах, о перспективах их применения для самых разнообразных целей: За рубежом, начиная с момента изобретения квадрупольного фильтра масс в ФРГ в 1953 г. [6], количество статей постоянно растет, причем наряду с весьма серьезными, ставшими классическими в

3

этой области работами [6—15] появляется много сооб­ щений рекламного характера, не всегда точно и полно отражающих состояние этой техники и ее возможности.

В данной книге анализируется работа квадрупольных масс-спектрометров (КМ) на основе известных фи­ зических представлений и выводятся простые прибли­ женные инженерные соотношения, позволяющие оцени­ вать значение основных параметров КМ и определять степень их взаимного влияния, выяснять предельные возможности КМ и сравнивать при этом свойства массспектрометров различных типов. В первой части книги рассмотрена методика расчета упомянутых величин и

параметров, приведены

многочисленные числовые

под­

счеты и выкладки,

иллюстрирующие теоретические

ре­

зультаты работы;

во

второй — приведены

некоторые

конкретные соображения и рекомендации,

положенные

в основу конструирования КМ, изложены методика гра­ дуировки КМ и результаты некоторых эксперименталь­ ных исследований, выполненных с серийноспособными образцами отечественных КМ.

Книга рассчитана на специалистов — разработчиков технологического масс-спектрометрического оборудова­ ния. Автор надеется также, что в ней найдётся мате­ риал, интересующий специалистов, пользующихся масс-спектрометрами в своей работе и исследованиях. Кроме того, книга может послужить пособием для сту­ дентов физических, химических и приборостроительных факультетов и вузов.

Автор благодарит В. А. Слободенюк за помощь в подготовке рукописи к изданию.

Все пожелания и замечания по книге автор просит направлять по адресу: 103031 Москва, К-31, ул. Жда­ нова, Атомиздат.

Ч а с т ь 1

ТЕОРИЯ КВАДРУПОЛЬНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА

Г л а в а 1. ДВИЖЕНИЕ ИОНОВ В КВАДРУПОЛЬНОМ АНАЛИЗАТОРЕ

§ 1. Принцип действия

Общие принципы построения масс-спектрометров широко известны из литературы [1, 2, 16—18], поэтому останавливаться на них не будем. Отметим лишь, что КМ относится к группе так называемых динамических приборов с последовательным во времени анализом спектра масс. Как и в любом другом масс-спектрометре, аналитическая часть его, ответственная за выработку сигналов спектра масс, содержит ионный источник, ана­ лизатор и приемник ионов. Названием своим этот при­ бор обязан электростатическому квадрупольному кон­ денсатору [19], который используется в нем в качестве анализатора («фильтра масс») его аналитической части. "Квадрупольный конденсатор (рис. 1) состоит из четы­ рех, расположенных параллельно друг другу, проводя­ щих поверхностей (в поперечном сечении они имеют форму гипербол), к которым попарно приложено элек­ трическое напряжение и. Квадрупольный конденсатор способен выполнять функции анализатора ионов по их массам * лишь при строго определенном виде создавае­ мого внутри него электрического поля. Выясним, каким должно быть напряжение и, для того чтобы из всех ионов, впущенных узким пучком в конденсатор вдоль его оси (см. рис. 1, ось г), до выхода конденсатора до-

* В дальнейшем для простоты и определенности рассуждений будем полагать, что все ионы обладают одним элементарным поло­ жительным зарядом. Если же заряд иона состоит из п элементар­ ных зарядов, то такой ион ведет себя так, как если бы он, обладая одним элементарным зарядом, имел массу, в п раз меньшую той,

которую он имеет в действительности,

5

летели лишь ионы с массой т. Потенциал ф в поле квадрупольного конденсатора без учета краевых эффек­

тов [19] имеет вид

 

 

 

 

 

(х2 у2)

 

 

 

 

 

( 1. 1)

 

 

 

 

<Р=~----JLLu,

 

 

 

 

 

где

х

и

у — координаты

плоскости,

перпендикулярной

к оси конденсатора

(совпадает с осью z),

причем начало

 

 

 

 

 

 

координат

расположено

 

 

 

 

 

 

на

входе

анализатора;

 

 

 

 

 

 

г0 — кратчайшее

рассто­

 

 

 

 

 

 

яние

от оси

анализатора

 

 

 

 

 

 

до любого из электродов.

 

 

 

 

 

 

Две

асимптотические по

 

 

 

 

 

 

отношению к электродам

 

 

 

 

 

 

конденсатора

плоскости,

 

 

 

 

 

 

пересекающиеся

по оси z,

 

 

 

 

 

 

имеют нулевой или неко­

 

 

 

 

 

 

торый

постоянный

отно­

 

 

 

 

 

 

сительно

корпуса

прибо­

 

 

 

 

 

 

ра потенциал.

 

 

V?

 

 

<

 

 

Составляющие

на­

 

 

 

-(Jl+Vcosut)

пряженности

 

электри­

 

 

 

 

ческого

поля Ех, Еу и Ег

 

 

 

 

—0

 

по

осям

х, у, z опреде­

 

 

 

 

+(y+Vcoscjt)

 

 

 

 

ляются

следующими со­

Рис.

1.

Квадрупольный

конденса­

отношениями:

 

 

тор

(xy плоскость входной апер­

 

 

 

дф

 

 

2их

туры

анализатора; э полеобра­

 

 

 

 

 

 

 

зующие электроды);

 

 

 

 

дх

 

 

го

а — внешний

вид; б — схема подачи

 

 

 

 

 

 

напряжения

на полеобразующие

элек­

 

 

 

 

 

 

( 1.2)

 

 

 

троды.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ЕУ=

дф

2иу

 

 

 

 

(1.3)

 

 

 

ду

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

дф =

0.

 

 

 

 

(1.4)

 

 

 

 

 

дг

 

 

 

 

 

 

Если ионы анализируемого вещества с массой rrii на­ править в квадрупольный конденсатор вдоль оси 2 с не-

6

которой начальной скоростью vu то их движение будет описываться системой уравнений Ньютона:

т,

 

d2x

2иех

(1-5)

 

 

dt2

 

 

т,

d*y

2uey

( 1. 6)

 

dt2 =

+

 

 

 

 

mr d2z

= 0,

(1.7)

 

 

dt2

 

 

где t — время, a e — заряд

иона. Решения

уравнений

(1.5) — (1.7) являются

аналитическим выражением тра­

ектории иона в конденсаторе, заданной в параметриче­

ской форме. При u = co n st^0

они имеют

следующий

вид:

 

 

х — Схcos +

С2 sin Qt;

(1.8)

у —С3 ch Qt +

sh Qt;

(1.9)

z — C5t

Св,

(I -Ю)

где Ci—C6 — постоянные интегрирования, определяемые

из начальных условий, a Q= K 2uelr\m,i. В данном слу­

чае решение уравнения (1.9) оказывается неограниченно возрастающим, т. е. все ионы независимо от их массы через некоторый промежуток времени попадут на элек­ троды, пересекающие ось у. Это означает, что квадрупольный конденсатор с постоянным напряжением на его электродах не обладает свойствами избирательности по отношению к ионам какой-то определенной массы т и потому не может служить анализатором масс-спектро­ метра.

Допустим теперь, что на электроды конденсатора подано напряжение вида

u = U + V cos соt,

 

(1.11)

где о» — угловая частота.

В

этом

случае

уравнения

(1.5)--(1.7) можно привести к виду:

 

 

х-\- (а +

2q cos2£)x =

0;

(1.12)

y — {a + 2q cos 2|) у = 0;

(1.13)

 

2 =

0,

 

(1.14)

где

 

 

 

 

а = 8eU/mrl(i>2;

q = AeVjmrlb)2;

£ =

со//2;

(1.15)

x, у и z — вторые производные координат х,

у, г

по но­

вой независимой безразмерной переменной £. Уравнения (1.12) и (1.13) относятся к так называе­

мым уравнениям Матье, теория которых достаточно полно изложена в работе [20]. Уравнение Матье в кано­

нической форме имеет вид

 

 

 

 

х -f-(а — 2<7cos2£)x = 0.

 

(1.16)

Общее решение его, согласно

работе

[20],

представ­

ляется в виде суммы двух рядов:

 

 

x(l) = Aexp(pg)

00

 

Сгг e xp (2r\ i) +

 

V

 

 

 

Г——00

 

 

 

-f Б1ехр(— pi)

со

с 2/.ехр(— 2rii),

(1.17)

2

Г~-—оо

 

 

 

где А { и В\ — произвольные постоянные; t'= Y

—1; р —

в общем случае комплексно;

Счт— постоянный

коэффи­

циент ряда (1.17), напоминающего ряд Фурье.

а) оно

Решение (1.17) имеет следующие свойства:

неустойчиво (т. е. х-^+оо

при

£-»-оо),

если в общем

случае р,= а-И(3 при ja |> 0 и любом действительном (3. Следует, однако, отметить, что всегда можно найти та­ кую форму нестабильного решения, при которой р — по­ ложительное действительное число (см. приложение 4);

б) решение

устойчиво (т.

е. х ограничено или -Ю при

|-» -о о ), если

u = i(p + m ),

где

m S*0

произвольное

це­

лое число; 0< Р < 1, причем

решение

периодично,

если

Р — рациональная дробь,

и непериодично, если |3 ирра­

ционально.

 

 

 

 

 

На плоскости значений а и q можно построить диа­ грамму стабильности (рис.. 2), разбивающую эту плос­ кость на несколько частей, одни из которых, заштрихо­ ванные, соответствуют нестабильным решениям уравне­ ния (1.16), а другие, незаштрихованные, — стабильным. Характеристические кривые am, bm+l (m = О, 1, 2, ...), разделяющие диаграмму (a, q) па стабильные и неста­ бильные участки, представляют собой зависимости соб­ ственных значений функций Матье целого порядка от

q [20].

В приложении

1 дано определение функций

Матье

целого порядка

и приведены разложения в сте­

8

пенной ряд по q нескольких собственных значений соот­ ветствующих функций Матье целого порядка, которые понадобятся в дальнейших расчетах.

Зная диаграмму стабильности канонического уравне­ ния (1.16), нетрудно представить себе начертание ана-

Рис. 2. Диаграмма стабильности уравнения Матье в кано­ нической форме.

логичных диаграмм для уравнений (1.12) и (1.13). Для выражения (1.12) эту диаграмму можно получить из рис. 2, зеркально отобразив его относительно оси а, по­ скольку перед вторым слагаемым в скобках в уравнении (1.12) в отличие от уравнения (1.16) стоит знак «+ ». Диаграмма стабильности уравнения (1.13) по аналогич­

ным

причинам получится зеркальным отображением

рис.

2 относительно оси q.

Если затем наложить друг на друга зеркальные ото­ бражения относительно осей а и q (см. рис. 2), то по­ лучим диаграмму стабильности одновременно двух урав­ нений Матье (1.12) и (1.13) (рис. 3). Незаштрихованные участки па данном рисунке соответствуют устойчи­ вым решениям этих уравнений. Наличие на диаграмме области стабильных решений физически означает воз­ можность для иона со «стабильной» траекторией, откло­ нения которой от оси конденсатора ограничены, пройти

9

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ