4.3.2 Функциональные параметры резисторов гис

Функциональными параметрами плёночных конструкций резисторов, как элементов электрических схем, являются:

• номинальное сопротивление резистора, R;

• допустимое отклонение сопротивления резистора, dR;

• допустимое эксплуатационное отклонение сопротивления, dRэ;

• допустимая мощность рассеяния, Р

• верхняя граничная частота резистора, Fгр.

Имея аналогичными ряд параметров с полупроводниковыми, плёночные резисторы обретают определённую специфику, связанную с плёночной технологией исполнения. Специфичность проявляется:

• в отсутствии ограничений на рабочие напряжения, кроме связанных с допустимой величиной мощности рассеяния резисторов;

• относительно низкая теплопроводность несущих диэлектрических подложек обуславливает потребность учёта требований к мощности резистора в индивидуальном порядке;

• в отличии конструкций контактных областей к резистору;

• в возможности и доступности корректировки сопротивления резисторов после формирования топологических конфигураций;

• в «размытости» ёмкостных эффектов конструкции плёночных резисторов;

• в «технологических ограничениях» на форму и размеры резисторов в связи с возможностями трафаретных технологий формообразования топологических конфигураций.

К проектированию резисторов (одного или массива) формируются три группы исходных ограничений:

• на параметры функционального назначения резисторов;

• допусковые ограничения технологии производства резисторов;

• допусковые отклонения параметров в процессе эксплуатации резисторов.

Согласование названных ограничений реализуется в выпуске информационных документов, по которым осуществляется производство, контроль, приёмка и последующая эксплуатация изделия.

Последняя группа ограничений учитывается рациональным выбором материалов конструкций и мерами по стабилизации свойств конструкции в процессе ее проектирование, производства и эксплуатации. Для рационального выбора материалов необходим справочный материал по совокупности определяющих параметров, а по мерам стабилизации свойств необходим плохо формализуемый опыт работы. Определяющими параметрами материалов для перечисленных функциональных параметров резисторов являются:

• сопротивление квадрата плёнки R□, Ом;

• удельная мощность рассеяния Руд, Вт/см²;

• удельное переходное сопротивление контактной пары «резистив-проводник» Ro, Ом∙см²;

• диэлектрическая проницаемость материала платы _п;

• диэлектрические потери материала платы tgδ;

• удельное объёмное сопротивление материала платы ρ, Ом∙см.

Проектные расчёты опираются на учёт трёх первых из названных параметров материалов. Три последних параметра учитываются в предельных оценках. Точный их учёт затруднён и характеризуется значительной неопределённостью.

При выборе форм и размеров конструкций резисторов учёту подлежат следующие технологические ограничения:

• относительное производственное отклонение удельного поверхностного сопротивления δ R□;

• абсолютная погрешность линейного размера ∆L, ∆b по одной стороне топологического фрагмента;

• абсолютная погрешность совмещения (∆совм) топологических элементов в смежных слоях;

• допустимые формы и отношения размеров.