- •654100 – Электроника и микроэлектроника
- •Оглавление
- •Часть первая. Микроэлектроника Глава 1. Общая характеристика микроэлектроники. Принципы функционирования элементов
- •1.1. Основные определения
- •1.2. Классификация изделий микроэлектроники
- •1.3. Физические явления, используемые в интегральной микроэлектронике
- •1.4. Процессы и явления, определяющие функционирование интегральных схем (ис)
- •1.5. Контактные явления в микроэлектронных структурах
- •1.6. Поверхностные явления в полупроводниках
- •1.7. Механизмы переноса носителей заряда
- •Глава 2. Базовые физико-химические методы создания микроэлектронных структур
- •2.1. Очистка поверхности пластин для ис
- •2.2. Получение полупроводниковых монокристаллов методом вытягивания из расплава
- •2.3. Термическое окисление
- •2.4. Эпитаксия
- •2.5. Фотолитография
- •2.6. Диффузия
- •2.7. Ионная имплантация (ионное легирование)
- •2.8. Металлизация
- •Глава 3.Типы подложек интегральных схем, их основные характеристики и процессы изготовления подложек
- •3.1. Изготовление подложек ис
- •3.3. Оптический метод ориентации полупроводниковых пластин
- •3.4. Шлифовка и полировка пластин
- •3.5. Строение нарушенного слоя после механической обработки пластины
- •Глава 4. Технология химической обработки подложек для интегральных микросхем
- •4.1. Механизм химической обработки кремниевых пластин
- •4.2. Термохимическое (газовое) травление
- •4.3. Ионно-плазменное травление
- •Глава 5. Диэлектрические пленки в ис. Методы их получения. Технологии изготовления гибридных ис
- •5.1. Конструктивно-технологические функции диэлектрических плёнок
- •5.2. Формирование плёнок SiO2термическим окислением кремния
- •5.3. Методы получения диэлектрических пленок в технологии гибридных ис
- •5.3.1. Термовакуумное реактивное испарение
- •5.3.2. Анодное окисление
- •5.3.3. Ионно-плазменное окисление
- •Глава 6. Ионное легирование полупроводников
- •6. 1. Общие принципы процесса ионного легирования
- •Для количественной оценки ф согласно (6.1) необходимо знать потенциал φ(u) взаимодействия частиц. В простейшем случае он равен кулоновскому потенциалу. Однако в реальном случае
- •6.2. Отжиг дефектов и электрические свойства слоёв
- •6.3. Импульсный лазерный отжиг
- •6.4. Маскирование в процессах ионного легирования
- •6.5. Маскирование фоторезистами
- •6.6. Маскирование пленками металлов
- •Глава 7. Элионные методы литографических процессов
- •7.1. Электронно-лучевая литография
- •7.2. Рентгенолучевая литография (рлл)
- •7.2.1. Особенности экспонирования в рлл
- •7.2.2. Технология рентгенолитографических процессов
- •7.2.3. Выбор резистов для рлл
- •Глава 8.Пленки в технологии ис, микросборок и коммутационных элементов
- •8.1. Металлические пленки для ис
- •8.2. Технология коммутационных элементов ис
- •8.3. Технология пленочных резисторов
- •8.4. Чистый металл и сплавы
- •8.5. Керметы (микрокомпозиционные пленки)
- •8.6. Изготовление тонкопленочных конденсаторов
- •8.7. Монооксид кремнияSiO
- •8.8. Пятиокись тантала Та2о5
- •8.9. Оксид алюминия Al2o3 и диоксид кремнияSiО2
- •8.10. Диоксид титана ТiО2
- •Глава 9.Монтаж кристаллов ис на носителях. Типы носителей. Особенности сборки ис в корпуса
- •9.1. Конструктивно-технологические варианты монтажа
- •9.2. Изготовление ленточных носителей
- •9.3. Получение внутренних выводов на кристаллах ис
- •9.4. Монтаж кристалла ис на гибкую ленту
- •9.5. Монтаж гибридных ис и микросборок
- •9.6. Особенности сборки сверхбыстродействующих ис и процессоров
- •Глава 10. Технология герметизации ис и мп
- •10.1. Пассивирующие и защитные покрытия ис
- •10.2. Принципы герметизации ис в корпусах
- •10.3. Герметизация ис в металлических корпусах
- •Часть вторая наноэлектроника
- •Глава 11. Теоретические основы наноэлектроники. Одноэлектронные приборы
- •11.1. Проблемы наноэлектроники (одноэлектроники)
- •11.2. Базовая теория кулоновской блокады
- •11.3. "Кулоновская лестница"
- •11.5. Квантовые размерные эффекты
- •11.6. Классификация одноэлектронных приборов
- •11.7. Одноэлектронный прибор на основе сканирующего туннельного микроскопа
- •11.8. Субмикронный вертикальный одноэлектронный транзистор (транзистор Остина)
- •11.9. Применение одноэлектронных приборов
- •Глава 12. Наночастицы и нанокластеры
- •12.1. Свойства наночастиц и их характеристики
- •12.2. Теоретическое моделирование наночастиц (модель ″желе″)
- •12.3. Геометрическая и электронная структуры нанокластеров
- •12.4. Реакционная способность наночастиц
- •12.5. Флуктуационные наноструктуры
- •12.6. Магнитные кластеры
- •12.7. Переход от макро- к нано-
- •12.8. Полупроводниковые наночастицы
- •12.9. Кулоновский взрыв
- •12.10. Молекулярные кластеры
- •12.11. Методы синтеза наночастиц
- •12.12. Химические методы синтеза наночастиц
- •12.13. Термолиз
- •12.14. Импульсные лазерные методы
- •Глава 13.Углеродные наноструктуры
- •13. 1. Природа углеродной связи
- •13.2. Малые углеродные кластеры – с60.
- •13.3. Неуглеродная шарообразная молекула
- •13.4. Углеродные нанотрубки
- •13.4.1. Методы получения нанотрубок
- •13.4.2. Электрические свойства нанотрубок
- •13.4.3. Колебательные свойства нанотрубок
- •13.4.4. Механические свойства нанотрубок
- •13.5. Применение углеродных нанотрубок
- •13.5.1. Полевая эмиссия и экранирование
- •13.5.2. Информационные технологии, электроника
- •13.5.3. Топливные элементы
- •13.5.4. Химические сенсоры
- •13.5.5. Катализ
- •13.5.6. Механическое упрочнение материалов
- •Глава 14.Объемные наноструктурированные материалы: разупорядоченные и кристаллизованные
- •14.1. Методы синтеза разупорядоченных структур
- •14.2. Механизмы разрушения традиционных материалов
- •14.3. Механические свойства наноструктурированных материалов
- •14.4. Многослойные наноструктурированные материалы
- •14.5. Электрические свойства наноструктурированных материалов
- •14.6. Нанокластеры в оптическом материаловедении
- •14.7. Пористый кремний
- •14.8. Упорядоченные наноструктуры
- •14.8.1. Упорядоченные структуры в цеолитах
- •14.8.2. Кристаллы из металлических наночастиц
- •14.8.3. Нанокристаллы для фотоники
- •Глава 15.Наноприборы и наномашины
- •15.1. Микроэлектромеханические устройства (mems)
- •15.2. Наноэлектромеханические системы (nems)
- •15.3. Наноактуаторы
- •15.4. Молекулярные и супрамолекулярные переключатели
- •Библиографический список Основной
- •Физические основы технологии микро- и наноэлектроники
- •620002, Екатеринбург, Мира, 19
- •620002, Екатеринбург, Мира, 19
9.6. Особенности сборки сверхбыстродействующих ис и процессоров
Создание сверхбыстродействующих ИС (СБИС) и микропроцессоров (МП) на одном кристалле привело к необходимости создания, как новых типов корпусов, так и совершенствования методов монтажа кристалла ИС на кристаллоноситель с применением новых материалов, которые обеспечивают более высокую технологичность процесса сборки.
Корпус ИС должен обладать оптимальной конструкцией, достаточно хорошо отводить тепло и иметь низкую стоимость. Указанные требования продиктованы условием высокой надежности таких ИС. Поэтому при изготовлении высоконадежных ИС используются сварные герметичные корпуса, обычно удовлетворяющие достаточно жестким требованиям на механическую стойкость и на стойкость к воздействиям окружающей среды.
Обычные корпуса типа ДИП (диэлектрик-полупроводник), которые хорошо зарекомендовали себя в производстве ИС, крайне не рациональны для монтажа СБИС и МП. Основной причиной является то, что такой важный параметр, как эффективность использования монтажной площади, равная отношению площади кристалла к площади, необходимой для монтажа его на носитель, очень быстро падает с ростом числа выводов. Так, например, если для 18-выводного ДИП-корпуса требуется площадь ~1,81 см2 для монтажа кристалла площадью 0,25 см2, то эффективность использования корпуса составляет 0,25/1,81 или всего 14%. Для 40-выводного корпуса этот параметр падает уже до 4%.
Кроме того, еще один существенный недостаток корпусов данного типа – серьезное ухудшение их электрических характеристик при повышении быстродействия ИС. Дело в том, что в этом случае начинают отрицательно сказываться сопротивление и индуктивность соединений между близкими к торцам выводами корпусов и выводными контактами кристалла, особенно для ДИП-корпусов очень больших размеров.
В результате тактовые частоты ИС, произведенных в ДИП-корпусах, ограничены всего 500 МГц, тогда как в других более совершенных конструкциях эти величины достигают ~4 ГГц и выше. Помимо сказанного, появляющиеся новые типы кристаллоносителей из керамики и пластмассы имеют гораздо меньшие размеры и массу.
Наибольшее распространение для монтажа БИС, СБИС и МП получили корпуса плоского типа и кристаллоносители с матричными выводами, безвыводные керамические кристаллоносители и пластмассовые носители с металлическими выводами. Имеются следующие конструктивно-технологические варианты исполнения таких корпусов:
плоский керамический корпус (рис. 9.5,а);
прямоугольный керамический корпус с матрицей выводов (в данном примере трехслойный) типа ″cucaracha″ (рис.9.5,б);
керамический корпус с упругими внешними выводами (рис. 9.5,в);
безвыводной стеклоэпоксидный носитель.
а б в
Рис. 9.5. Конструктивно-технологическиве варианты
изготовления корпусов ИС
Для всех указанных типов корпусов характерны хорошие электрические характеристики и высокая эффективность использования монтажной площади. Например, для безвыводного кристаллоносителя с 18-контактными площадками требуется монтажная площадь всего ~0,65 см2 при площади кристалла ~0,2 см2, а эффективность использования площади составляет ~30 %. Это очень хороший показатель. Увеличение числа контактных площадок до 40 уже требует S~3,13 см2 при площади кристалла БИС~1,64 см2, т.е. эффективность использования возрастает до 52%.
Преимущество корпусов со штырьковыми выводами состоит в минимальных монтажных площадях, занимаемых ими на печатных платах. К недостатку таких корпусов относится сложность технологического контроля формирования внутренних выводов.
Из всех возможных вариантов конструирования БИС и СБИС только керамические кристаллоносители полностью совместимы с керамическими подложками гибридных микросхем и микросборок.
Для монтажа БИС и СБИС может использоваться проволочный монтаж. При таком типе технологического процесса контактные площадки кристалла и носителя соединяются золотой проволокой диаметром d = 0,25-0,02 мм при размерах контактных площадок от 0,70,1 мм и от 0,50,5 мм соответственно. Монтаж БИС и МП с помощью ленточных носителей начинает применяться так же широко, как и монтаж обычных ИС малой и средней степени интеграции. Как правило, при таком варианте сборки используется монтаж кристаллов БИС лицевой поверхностью вниз. Для теплоотвода служат специальные теплопроводящие эпоксидные смолы.
С ростом числа выводов БИС и МП контактные площади на кристалле уменьшаются до размеров, при которых проволочный монтаж оказывается нерациональным из-за низкой производительности автоматической линии. Поэтому автоматизированная сборка кристаллов на ленте-носителе становится единственным приемлемым технологическим процессом сборки ИС.