- •654100 – Электроника и микроэлектроника
- •Оглавление
- •Часть первая. Микроэлектроника Глава 1. Общая характеристика микроэлектроники. Принципы функционирования элементов
- •1.1. Основные определения
- •1.2. Классификация изделий микроэлектроники
- •1.3. Физические явления, используемые в интегральной микроэлектронике
- •1.4. Процессы и явления, определяющие функционирование интегральных схем (ис)
- •1.5. Контактные явления в микроэлектронных структурах
- •1.6. Поверхностные явления в полупроводниках
- •1.7. Механизмы переноса носителей заряда
- •Глава 2. Базовые физико-химические методы создания микроэлектронных структур
- •2.1. Очистка поверхности пластин для ис
- •2.2. Получение полупроводниковых монокристаллов методом вытягивания из расплава
- •2.3. Термическое окисление
- •2.4. Эпитаксия
- •2.5. Фотолитография
- •2.6. Диффузия
- •2.7. Ионная имплантация (ионное легирование)
- •2.8. Металлизация
- •Глава 3.Типы подложек интегральных схем, их основные характеристики и процессы изготовления подложек
- •3.1. Изготовление подложек ис
- •3.3. Оптический метод ориентации полупроводниковых пластин
- •3.4. Шлифовка и полировка пластин
- •3.5. Строение нарушенного слоя после механической обработки пластины
- •Глава 4. Технология химической обработки подложек для интегральных микросхем
- •4.1. Механизм химической обработки кремниевых пластин
- •4.2. Термохимическое (газовое) травление
- •4.3. Ионно-плазменное травление
- •Глава 5. Диэлектрические пленки в ис. Методы их получения. Технологии изготовления гибридных ис
- •5.1. Конструктивно-технологические функции диэлектрических плёнок
- •5.2. Формирование плёнок SiO2термическим окислением кремния
- •5.3. Методы получения диэлектрических пленок в технологии гибридных ис
- •5.3.1. Термовакуумное реактивное испарение
- •5.3.2. Анодное окисление
- •5.3.3. Ионно-плазменное окисление
- •Глава 6. Ионное легирование полупроводников
- •6. 1. Общие принципы процесса ионного легирования
- •Для количественной оценки ф согласно (6.1) необходимо знать потенциал φ(u) взаимодействия частиц. В простейшем случае он равен кулоновскому потенциалу. Однако в реальном случае
- •6.2. Отжиг дефектов и электрические свойства слоёв
- •6.3. Импульсный лазерный отжиг
- •6.4. Маскирование в процессах ионного легирования
- •6.5. Маскирование фоторезистами
- •6.6. Маскирование пленками металлов
- •Глава 7. Элионные методы литографических процессов
- •7.1. Электронно-лучевая литография
- •7.2. Рентгенолучевая литография (рлл)
- •7.2.1. Особенности экспонирования в рлл
- •7.2.2. Технология рентгенолитографических процессов
- •7.2.3. Выбор резистов для рлл
- •Глава 8.Пленки в технологии ис, микросборок и коммутационных элементов
- •8.1. Металлические пленки для ис
- •8.2. Технология коммутационных элементов ис
- •8.3. Технология пленочных резисторов
- •8.4. Чистый металл и сплавы
- •8.5. Керметы (микрокомпозиционные пленки)
- •8.6. Изготовление тонкопленочных конденсаторов
- •8.7. Монооксид кремнияSiO
- •8.8. Пятиокись тантала Та2о5
- •8.9. Оксид алюминия Al2o3 и диоксид кремнияSiО2
- •8.10. Диоксид титана ТiО2
- •Глава 9.Монтаж кристаллов ис на носителях. Типы носителей. Особенности сборки ис в корпуса
- •9.1. Конструктивно-технологические варианты монтажа
- •9.2. Изготовление ленточных носителей
- •9.3. Получение внутренних выводов на кристаллах ис
- •9.4. Монтаж кристалла ис на гибкую ленту
- •9.5. Монтаж гибридных ис и микросборок
- •9.6. Особенности сборки сверхбыстродействующих ис и процессоров
- •Глава 10. Технология герметизации ис и мп
- •10.1. Пассивирующие и защитные покрытия ис
- •10.2. Принципы герметизации ис в корпусах
- •10.3. Герметизация ис в металлических корпусах
- •Часть вторая наноэлектроника
- •Глава 11. Теоретические основы наноэлектроники. Одноэлектронные приборы
- •11.1. Проблемы наноэлектроники (одноэлектроники)
- •11.2. Базовая теория кулоновской блокады
- •11.3. "Кулоновская лестница"
- •11.5. Квантовые размерные эффекты
- •11.6. Классификация одноэлектронных приборов
- •11.7. Одноэлектронный прибор на основе сканирующего туннельного микроскопа
- •11.8. Субмикронный вертикальный одноэлектронный транзистор (транзистор Остина)
- •11.9. Применение одноэлектронных приборов
- •Глава 12. Наночастицы и нанокластеры
- •12.1. Свойства наночастиц и их характеристики
- •12.2. Теоретическое моделирование наночастиц (модель ″желе″)
- •12.3. Геометрическая и электронная структуры нанокластеров
- •12.4. Реакционная способность наночастиц
- •12.5. Флуктуационные наноструктуры
- •12.6. Магнитные кластеры
- •12.7. Переход от макро- к нано-
- •12.8. Полупроводниковые наночастицы
- •12.9. Кулоновский взрыв
- •12.10. Молекулярные кластеры
- •12.11. Методы синтеза наночастиц
- •12.12. Химические методы синтеза наночастиц
- •12.13. Термолиз
- •12.14. Импульсные лазерные методы
- •Глава 13.Углеродные наноструктуры
- •13. 1. Природа углеродной связи
- •13.2. Малые углеродные кластеры – с60.
- •13.3. Неуглеродная шарообразная молекула
- •13.4. Углеродные нанотрубки
- •13.4.1. Методы получения нанотрубок
- •13.4.2. Электрические свойства нанотрубок
- •13.4.3. Колебательные свойства нанотрубок
- •13.4.4. Механические свойства нанотрубок
- •13.5. Применение углеродных нанотрубок
- •13.5.1. Полевая эмиссия и экранирование
- •13.5.2. Информационные технологии, электроника
- •13.5.3. Топливные элементы
- •13.5.4. Химические сенсоры
- •13.5.5. Катализ
- •13.5.6. Механическое упрочнение материалов
- •Глава 14.Объемные наноструктурированные материалы: разупорядоченные и кристаллизованные
- •14.1. Методы синтеза разупорядоченных структур
- •14.2. Механизмы разрушения традиционных материалов
- •14.3. Механические свойства наноструктурированных материалов
- •14.4. Многослойные наноструктурированные материалы
- •14.5. Электрические свойства наноструктурированных материалов
- •14.6. Нанокластеры в оптическом материаловедении
- •14.7. Пористый кремний
- •14.8. Упорядоченные наноструктуры
- •14.8.1. Упорядоченные структуры в цеолитах
- •14.8.2. Кристаллы из металлических наночастиц
- •14.8.3. Нанокристаллы для фотоники
- •Глава 15.Наноприборы и наномашины
- •15.1. Микроэлектромеханические устройства (mems)
- •15.2. Наноэлектромеханические системы (nems)
- •15.3. Наноактуаторы
- •15.4. Молекулярные и супрамолекулярные переключатели
- •Библиографический список Основной
- •Физические основы технологии микро- и наноэлектроники
- •620002, Екатеринбург, Мира, 19
- •620002, Екатеринбург, Мира, 19
14.4. Многослойные наноструктурированные материалы
Другой тип объёмных наноструктур состоит из периодически расположенных слоёв различных материалов нанометровой толщины, например, чередующихся слоёв TiN и NbN. Такие слоистые материалы изготавливаются разнообразными газофазными методами – например, осаждением, напылением, либо химическим осаждением паров. Возможно применение и гальванических методов. Эти материалы имеют очень большие значения удельных площадей поверхности раздела. Например, квадратный сантиметр многослойной плёнки толщиной 1 мкм с толщиной слоёв 2 нм имеет площадь поверхности раздела ~1000 см2. Так как плотность материала составляет около 6,5 г/см3, его удельная площадь поверхности равна ~154 м2/г, что сравнимо со значениями для типичных гетерогенных катализаторов. Как правило, области раздела оказывают сильное влияние на свойства наноматериалов. Эти слоистые материалы имеют высокую твёрдость, зависящую от толщины слоёв, и хорошую износостойкость. Твёрдость измеряется с помощью установки, называющейся наноиндентометром и регистрирующей глубину погружения и нагрузку при вдавливании в материал алмазного индентора в виде пирамиды. При этом регистрируют данные о нагрузке L(h) и смещении h индентора. Твёрдость определяется как L(h)/A(h), где A(h) – площадь отпечатка после снятия нагрузки. Обычно измерения производятся с постоянной скоростью нагружения, составляющей ~20 мН/с. В результате получается график, изображенный на рис. 14.9.
Период бислойной
структуры, нм
Рис. 14.9. Зависимость твердости бислойный TiN/NbN
– структуры от периода решетки
График на рис. 14.9 приведен для многослойной структуры TiN/NbN (зависимость твердости от периода слоистости, т.е. суммарной толщины двух слоев), откуда видно, что при уменьшении толщины слоев до ~ 30 нм твердость существенно увеличивается, а далее стабилизируется и остается постоянной. Выяснилось, что твердость увеличивается за счет несовпадения кристаллических структур соседних слоев. Нитрид титана и нитрид ниобия имеют один и тот же тип решетки – NCl-структуру, но с параметрами 0,4235 и 0,5151 нм, т.е. несоответствие решеток достаточно велико, как и твердость получающегося материала. Было установлено, что более твердые материалы имеют большую разность модулей сдвига слоев. При этом многослойные материалы, чередующиеся слои которых имеют разную кристаллическую структуру, оказываются еще более твердыми. В описанной ситуации дислокациям сложнее перемещаться между слоями, и они, по сути, локализуются в определенных областях структуры, что и приводит к увеличению твердости.
14.5. Электрические свойства наноструктурированных материалов
Для того чтобы множество наночастиц образовало проводящую среду, необходимо, чтобы они имели электрический контакт друг с другом. Одна из форм объемного наноструктурированного материала, обладающего отличной проводимостью, состоит из наночастиц золота, соединенных друг с другом длинными молекулами. Такая сеть образуется при взаимодействии аэрозоля частиц золота с аэрозолем тонко распыленного RSH, например додекантиола, в котором R = С12Н15. Подобные алкиловые тиолы содержат группу SH, которая может присоединиться к метилу СН3, и парафиновую цепочку длиной 8-12 элементов, обеспечивающую сферическое отталкивание между цепочками. Цепочки молекул располагаются по радиусам вокруг каждой наночастицы. Инкапсулированные частицы золота стабильны в специальных растворах, например в гексане. Добавление к такому раствору небольшого количества дитиола вызывает формирование трехмерных кластерных сетей, выпадающих в осадок. Кластеры Au можно также получить осаждением на плоскую поверхность, если уже сформировалась коллоидная взвесь инкапсулированных наночастиц. Электронную проводимость в плоскостях таких материалов можно измерять с помощью следующего устройства, которое создается методом литографии (рис. 14.10). Очевидно, что данное устройство не позволяет оперативно менять образцы для измерений, так как создается с образцом как единое целое.
Рис. 14.10. Установка для измерения электрических свойств наночастиц
Рис. 14.11. Вольт-амперная характеристика наночастицы:
1 – в отсутствие связующих молекул; 2 – при их наличии
В результате использования устройства, изображенного на рис. 14.10, получаем ВАХ, которые выглядят, как показано на рис. 14.11. Проводимость G, определяемая как отношение тока I к напряжению U, есть величина, обратная сопротивлению R = U/I = 1/G. Из графика ВАХ видно, что связывание золотых наночастиц существенно увеличивает проводимость. При этом температурная зависимость проводимости задаётся выражением: G = G0exp (–E/ (kбT)), где E – энергия активации.
Процесс проводимости в описанной выше системе можно промоделировать гексагональной решеткой из монокристаллических кластеров золота, соединённых ″резисторами″, которыми являются связующие органические молекулы. Механизм проводимости в такой системе –электронное туннелирование с одного кластера на другой. Напомним, что туннелирование – квантово-механическое явление, при котором электрон может проникнуть через энергетический барьер большей величины, чем кинетическая энергия электрона. Если изготовить ״сэндвич״ с двумя проводящими слоями из одинакового металла, разделёнными изолятором, то при некоторых условиях электроны могут переходить из одного слоя в другой.
Рис. 14.12. Схематичное изображение нанокластеров,
связанных органическими молекулами
Очевидно, для того чтобы электрон мог туннелировать с одной стороны перехода на другую, необходимо наличие незанятых электронных состояний. Для двух одинаковых металлов при T = 0 К уровни Ферми будут иметь одинаковые значения, и на другой стороне не будет свободных состояний с той же энергией, т.е. туннелирование станет невозможным. Приложенное к переходу напряжение U увеличивает энергию электронов с одной стороны барьера по сравнению с другой стороной, сдвигая уровень Ферми. Количество электронов, которые могут туннелировать в интервале энергий dE есть N1(E – eU) f (E – eU) [N2(E) (1–f(E)), где N1 – плотность состояний в металле 1; N2 – плотность состояний в металле 2; f (E) – распределение Ферми-Дирака (определяет заполнение состояний с энергией Е).
Тогда полный ток I через переход будет определяться разностью между токами, текущими справа налево и слева направо (т.е. в прямом и обратном направлении): I = k∫N1(E-eU)N2(E)[f(E-eU) – f(E)]dE, здесь k – матричный элемент, определяющий вероятность туннелирования сквозь барьер. Ток, текущий через переход, линейно зависит от напряжения. Если считать плотность состояний постоянной в рассматриваемом интервале энергий eU, то для малых U и T имеем: I = kN1(Ef)N2(Ef)eU или I = GnnU, где Gnn = kN1(Ef)N2(Ef)eU – проводимость. Реально такой переход обладает всеми свойствами омического контакта, т.е. ток пропорционален напряжению.