- •Конспект по предмету
- •Раздел 1 Технологический процесс обработки изделий микроэлектроники
- •Устройство для выращивания монокристаллического слитка вытягиванием из расплава:
- •Формирование слоев с заданными свойствами
- •Процессы формирования рисунка методом литографии
- •Формирование рисунка маски из резиста:
- •Последовательность получения оксидной маски на пластине:
- •Последовательность операций при формировании рисунка поликремния:
- •Последовательность получения рисунка алюминиевой коммутации, контактов и затвора в моп-имс:
- •Сборка и монтаж имс
- •Типы и основные характеристики подложек
- •Конструктивно-технологические особенности биполярных имс
- •Структуры биполярной кремниевой имс (а) и интегрального транзистора (б) (все размеры указаны в микрометрах):
- •Структуры конденсаторов для биполярных имс:
- •Электрическая схема (а) и топология (б) логического элемента:
- •1, 5, 7, 8 — Входы; 2 —наиболее положительный потенциал; 3 — выход; 4 — земля
- •Влияние конструктивно-технологических факторов на электрические параметры имс
- •Основные этапы технологии биполярных имс
- •Технологический процесс формирования биполярных полупроводниковых структур
- •Шаблон, используемый для создания области скрытого слоя коллектора, (а) и набор фотошаблонов для фотолитографии (б):
- •Основные конструктивно-технологические варианты мпд-имс
- •Конструкция мдп-транзистора имс:
- •Структура моп-транзистора, используемая для расчета:
- •Влияние физико-технологических факторов на параметры моп-имс
- •Базовый технологический процесс получения моп-имс
- •Технология моп-имс с кремниевым затвором
- •Основные этапы изготовления моп-имс с кремниевыми затворами:
- •Раздел2 Устройство, принцип работы, наладка и регулировки узлов и механизмов специального технологического оборудования
- •Классификация оборудования.
- •Особенности техники безопасности в п/п производстве.
- •2.2 Оборудование для создания и контроля чистых сред. Наладка и регулировка
- •Пылезащитные камеры с вертикальным ламинарным потоком воздуха для выполнения операций без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •Приборы для измерения параметров атмосферы производственных помещений
- •Гигрометры: а - волосяной, б - пленочный; 1 - груз, 2 -волос, 3 - стрелка, 4 - неравномерная шкала, 5 - пленочная мембрана
- •Анализатор запыленности:
- •Установки для очистки газов и воды
- •Приборы для измерения давления и расхода
- •Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •Ионизационный манометрический преобразователь:
- •Структурная схема ионизационно-термопарного вакуумметра вит-3:
- •2.3 «Оборудование для механической обработки полупроводниковых материалов»
- •Ориентация с помощью метода световых фигур.
- •Установка для световой ориентации монокристаллов:
- •Оптическая система установки световой ориентации монокристаллов:
- •Резка слитков на пластины.
- •«Алмаз 6м»
- •Станок резки слитков "Алмаз-6м":
- •Шпиндель станка "Алмаз-6м":
- •Барабан станка "Алмаз-6м":
- •Привод подачи слитка станка "Алмаз-6м":
- •Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка "Алмаз-6м":
- •«Шлифовальное оборудование»
- •1 Рельефный слой, 2 трещенковый слой, 3 дислокационный слой, 4 напряженный слой
- •Планетарный механизм для двухстороннего шлифования пластин
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку
- •2.4 Оборудование для химобработки
- •Автомат гидромеханической отмывки
- •Кинематическая схема агрегата (трека) автомата гидромеханической отмывки:
- •Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан
- •2.5 Термическое оборудование
- •Схемы реакторов для газовой эпитаксии
- •Реактор установки унэс-2п-ка
- •Система газораспределения эпитаксиальной установки
- •Скруббер установки эпитаксиального наращивания унэс-101
- •Оборудование для диффузии и окисления
- •Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки
- •Нагревательная камера термической диффузионной установки
- •Установка термической диффузии адс-6-100
- •Нагреватель диффузионной установки
- •Функциональная схема автоматической системы регулирования температуры термической диффузионной установки
- •Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
- •Программатор время - команда
- •1.2. Основные технические данные.
- •1.3. Устройство пвк
- •1.4. Работа пвк
- •2. Меры безопасности
- •Время-параметр
- •1.2. Основные технические требования
- •1.3. Устройство
- •1.4. Работа
- •2.6 Оборудование для элионной обработки
- •Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
- •Метод термического испарения
- •Метод распыления материалов ионной бомбардировкой
- •Испарители
- •Способы ионного распыления для осаждения тонких пленок
- •2.7 Оборудование для контактной фотопечати
- •Компоновочная схема эм-576
- •Блочная схема эм-576
- •Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
- •2.8 Оборудование для проекционной фотопечати
- •Привод подъема стола.
- •Система совмещения.
- •Система автофокусировки.
- •2.9 Оборудование для нанесения и проявления фоторезиста
- •Устройство нанесения фоторезиста:
- •2.10 Сборочное оборудование
- •Установка резки алмазными кругами:
- •Узел крепления алмазного круга:
- •Установка монтажа кристаллов эм-438а
- •Кинематическая схема установки эм-438а
- •Автомат присоединения кристаллов эм-4085
- •Назначение микроскопа мт-2
- •Технические данные
- •Устройство и работа микроскопа
- •Устройство и работа составных частей микроскопа
- •Оборудование для разварки межсоединений эм-4020б
- •Последовательность монтажа проволочных перемычек
- •Механизм микросварки
- •Механизм микросварки
- •Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
- •Возможные неисправности и методы их устранения
- •Оборудование для герметизации интегральных микросхем
- •Способы герметизации металлостеклянных и металлокерамических корпусов ис
- •Функциональная схема герметизации
- •Установка угп-50 для герметизации интегральных микросхем пластмассой
- •Раздел 3 Устройство, принцип работы наладка, регулировка специального технологического оборудования
- •Тема 1. Износ деталей машин.
- •Тема 2. Система планово-предупредительного ремонта (ппр).
- •Виды ппр.
- •Периодичность ремонта и нормы простоя оборудования при ремонте.
- •Организация ремонтного обслуживания цехах, участках и на предприятии.
- •Раздел 4 Ремонт специального технологического оборудования Основы технологии ремонта то
- •Алгоритм диагностики схемы синхронизации
- •Раздел 5 Контрольно-измерительное и испытательное оборудование
- •Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:
- •Устройство зондовой установки эм-6010
«Алмаз 6м»
Рассмотрим «Алмаз 6М» для резки слитков полупроводниковых материалов диаметром 102 мм и длинной 500 мм дисками с внутренней режущей кромкой с синтетическим алмазом типа АКВР 203*559*0.2 для 102 мм и АКВР 152*422*0.2.
Станок резки слитков "Алмаз-6м":
1 - станина, 2 - привод механизма присоски, 3 — каретка, 4,5 - шкалы, 6 - направляющая, 7 - прижим, 8 - механизм подачи слитка, 9,13 — корпуса, 10,28 - оси, 11 - присоска, 12 — ловитель, 14 - барабан крепления алмазного диска, 15 - шпиндель, 16 - электродвигатель, 17— плоскоременная передача, 18, 26 - верхняя и нижняя опоры, 19 - шток гидроцилиндра, 20 - редуктор, 21 - рейка, 22 — гидроцилиндр, 23 - тумба, 24, 25 — упоры, 27 - гидравлическая панель, 29 - коромысло, 30 - механизм присоски, 31 - бачок (емкость) для пластин, 32 — резервуар, 33 — стол, 34 — плита, 35 — цилиндр-подпор
Основание - стальная станина на шести опорах, поглощающих вибрации. В передней части размещены элементы электрической схемы, в задней - управляющая пневмогидравлическая аппаратура, в боковой - насосная станция, подающая масло к элементам гидравлики. На станине установлен механизм подачи шпинделя.
Шпиндель станка "Алмаз-6м":
1 - сегментная шпонка, 2 - подшипники, 3 - пружина, 4 - корпус, 5 - втулка, б - вал, 7 - шайба,
8 - гайка
Шпиндель представляет вал вращающийся на четырех радиально-упорных подшипниках в корпусе втулки, установленные между подшипниками со стороны крепления сменного барабана для натяжки алмазного диска и пружины обеспечивающий минимальный осевой люфт шпинделя.
На конце шпинделя имеется конические поверхности для установки шкива и сменного барабана.
Барабан станка "Алмаз-6м":
1 - корпус, 2, 9 — съемное и наружное кольца, 3 - винт, 4 - входной клапан, 5 - пространство между кольцами, 6 - резиновая прокладка, 7 - алмазный диск, 8 - кольцевая проточка
На наружное кольцо корпуса барабана крепится съемное кольцо, с резиновой прокладкой. Между наружным и съемным кольцами устанавливается по штифтам алмазный диск, и съемное кольцо крепится винтами. Кроме того, в съемном кольце выполнена кольцевая проточка и в кольце имеется два клапана 4 (входной – впускной и выходной - сливной), через который подается и сливается жидкость - глицерин, заполняющий пространство между кольцами.
Давление через глицерин передается кольцевой резиновой прокладке, зажимается алмазный диск и вдавливает его в проточку наружного кольца. На алмазном диске образуется рельеф (зиг), за счет которого диск равномерно натягивается.
Давление глицерина зависит от размера алмазного диска и необходимого его натяжения. Первоначальное натяжение нового диска ориентировочно составляет 0,4% от его внутреннего диаметра (примерно 0.6 - 0.8 мм). Давление равно 10 - 12 МПа (1н/м2).
Шпиндель получает вращение от электродвигателя - привода через шкив и плоскоременную передачу. Подача алмазного диска (глубина резания слитка) в станке осуществляется поворотом коромысла на котором закреплен шпиндель с приводом. Коромысло установлено на тумбе и поворачивается в высокоточных (с нулевым осевым зазором) подшипниках гидроцилиндром через шток который подводит и отводит алмазный диск. Гидропривод поворота крепится к нижней опоре и к верхней, которая на коромысле.
Упоры ограничивают ход алмазного диска и связан с диаметром слитка. Скорость резания регулируется редуктором и рейкой и одновременно отображается на пульте управления.
Устройство перемещения слитка подает его к диску и поворачивает в вертикальной и горизонтальной плоскостях для ориентированной резки. Сюда входят и присоски.
Кинематическая схема привода подачи слитка: