- •Конспект по предмету
- •Раздел 1 Технологический процесс обработки изделий микроэлектроники
- •Устройство для выращивания монокристаллического слитка вытягиванием из расплава:
- •Формирование слоев с заданными свойствами
- •Процессы формирования рисунка методом литографии
- •Формирование рисунка маски из резиста:
- •Последовательность получения оксидной маски на пластине:
- •Последовательность операций при формировании рисунка поликремния:
- •Последовательность получения рисунка алюминиевой коммутации, контактов и затвора в моп-имс:
- •Сборка и монтаж имс
- •Типы и основные характеристики подложек
- •Конструктивно-технологические особенности биполярных имс
- •Структуры биполярной кремниевой имс (а) и интегрального транзистора (б) (все размеры указаны в микрометрах):
- •Структуры конденсаторов для биполярных имс:
- •Электрическая схема (а) и топология (б) логического элемента:
- •1, 5, 7, 8 — Входы; 2 —наиболее положительный потенциал; 3 — выход; 4 — земля
- •Влияние конструктивно-технологических факторов на электрические параметры имс
- •Основные этапы технологии биполярных имс
- •Технологический процесс формирования биполярных полупроводниковых структур
- •Шаблон, используемый для создания области скрытого слоя коллектора, (а) и набор фотошаблонов для фотолитографии (б):
- •Основные конструктивно-технологические варианты мпд-имс
- •Конструкция мдп-транзистора имс:
- •Структура моп-транзистора, используемая для расчета:
- •Влияние физико-технологических факторов на параметры моп-имс
- •Базовый технологический процесс получения моп-имс
- •Технология моп-имс с кремниевым затвором
- •Основные этапы изготовления моп-имс с кремниевыми затворами:
- •Раздел2 Устройство, принцип работы, наладка и регулировки узлов и механизмов специального технологического оборудования
- •Классификация оборудования.
- •Особенности техники безопасности в п/п производстве.
- •2.2 Оборудование для создания и контроля чистых сред. Наладка и регулировка
- •Пылезащитные камеры с вертикальным ламинарным потоком воздуха для выполнения операций без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •Приборы для измерения параметров атмосферы производственных помещений
- •Гигрометры: а - волосяной, б - пленочный; 1 - груз, 2 -волос, 3 - стрелка, 4 - неравномерная шкала, 5 - пленочная мембрана
- •Анализатор запыленности:
- •Установки для очистки газов и воды
- •Приборы для измерения давления и расхода
- •Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •Ионизационный манометрический преобразователь:
- •Структурная схема ионизационно-термопарного вакуумметра вит-3:
- •2.3 «Оборудование для механической обработки полупроводниковых материалов»
- •Ориентация с помощью метода световых фигур.
- •Установка для световой ориентации монокристаллов:
- •Оптическая система установки световой ориентации монокристаллов:
- •Резка слитков на пластины.
- •«Алмаз 6м»
- •Станок резки слитков "Алмаз-6м":
- •Шпиндель станка "Алмаз-6м":
- •Барабан станка "Алмаз-6м":
- •Привод подачи слитка станка "Алмаз-6м":
- •Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка "Алмаз-6м":
- •«Шлифовальное оборудование»
- •1 Рельефный слой, 2 трещенковый слой, 3 дислокационный слой, 4 напряженный слой
- •Планетарный механизм для двухстороннего шлифования пластин
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку
- •2.4 Оборудование для химобработки
- •Автомат гидромеханической отмывки
- •Кинематическая схема агрегата (трека) автомата гидромеханической отмывки:
- •Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан
- •2.5 Термическое оборудование
- •Схемы реакторов для газовой эпитаксии
- •Реактор установки унэс-2п-ка
- •Система газораспределения эпитаксиальной установки
- •Скруббер установки эпитаксиального наращивания унэс-101
- •Оборудование для диффузии и окисления
- •Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки
- •Нагревательная камера термической диффузионной установки
- •Установка термической диффузии адс-6-100
- •Нагреватель диффузионной установки
- •Функциональная схема автоматической системы регулирования температуры термической диффузионной установки
- •Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
- •Программатор время - команда
- •1.2. Основные технические данные.
- •1.3. Устройство пвк
- •1.4. Работа пвк
- •2. Меры безопасности
- •Время-параметр
- •1.2. Основные технические требования
- •1.3. Устройство
- •1.4. Работа
- •2.6 Оборудование для элионной обработки
- •Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
- •Метод термического испарения
- •Метод распыления материалов ионной бомбардировкой
- •Испарители
- •Способы ионного распыления для осаждения тонких пленок
- •2.7 Оборудование для контактной фотопечати
- •Компоновочная схема эм-576
- •Блочная схема эм-576
- •Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
- •2.8 Оборудование для проекционной фотопечати
- •Привод подъема стола.
- •Система совмещения.
- •Система автофокусировки.
- •2.9 Оборудование для нанесения и проявления фоторезиста
- •Устройство нанесения фоторезиста:
- •2.10 Сборочное оборудование
- •Установка резки алмазными кругами:
- •Узел крепления алмазного круга:
- •Установка монтажа кристаллов эм-438а
- •Кинематическая схема установки эм-438а
- •Автомат присоединения кристаллов эм-4085
- •Назначение микроскопа мт-2
- •Технические данные
- •Устройство и работа микроскопа
- •Устройство и работа составных частей микроскопа
- •Оборудование для разварки межсоединений эм-4020б
- •Последовательность монтажа проволочных перемычек
- •Механизм микросварки
- •Механизм микросварки
- •Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
- •Возможные неисправности и методы их устранения
- •Оборудование для герметизации интегральных микросхем
- •Способы герметизации металлостеклянных и металлокерамических корпусов ис
- •Функциональная схема герметизации
- •Установка угп-50 для герметизации интегральных микросхем пластмассой
- •Раздел 3 Устройство, принцип работы наладка, регулировка специального технологического оборудования
- •Тема 1. Износ деталей машин.
- •Тема 2. Система планово-предупредительного ремонта (ппр).
- •Виды ппр.
- •Периодичность ремонта и нормы простоя оборудования при ремонте.
- •Организация ремонтного обслуживания цехах, участках и на предприятии.
- •Раздел 4 Ремонт специального технологического оборудования Основы технологии ремонта то
- •Алгоритм диагностики схемы синхронизации
- •Раздел 5 Контрольно-измерительное и испытательное оборудование
- •Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:
- •Устройство зондовой установки эм-6010
Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
1 – кварцевая труба, 2 – подложки, 3 – кварцевая лодочка, 4 – кварцевый стержень, 5 – ходовой винт.
Устройство загрузки-выгрузки обычно размещается в камере с ламинарным потоком воздуха, создающей обеспыленную атмосферу в зоне работы загрузчика лодочек с подложками. Камеры загрузки построены по принципу технологических скафандров. Перед загрузкой в реакционную трубу диффузионной установки подложки размещаются в кварцевой лодочке на расстоянии
7…10 мм друг от друга. (рисунок а). при загрузке возможно появление кварцевых микрочастиц, образующихся при трении лодочки о реакционную трубу (рисунок а). Эти микрочастицы, попадая на поверхность подложек вместе с потоком ПГС, приводят к дефектам структур. Поэтому разработаны различные конструкции загрузочных устройств, заменяющих трение скольжения трением качения (рисунок б, в) или вообще исключающих трение за счет использования консольных держателей и загрузчиков (рисунок г). Скорость перемещения лодочки с подложками при загрузке обычно не превышает 30…70 см/мин и тщательно контролируется системой управления для уменьшения термодинамических нагрузок на подложки и повышения воспроизводимости результатов процесса.
Программатор время - команда
ПВК 15х20М предназначен для управления технологическим оборудованием (испытательным или термическим) путём включения по 20-ть независимых выводов в любой комбинации в пятнадцати временных интервалах. Длительность каждого из 15-ти временных интервалов и комбинация включённых выходов программируется.
1.2. Основные технические данные.
1. Время выдержки в каждом из 15-ти временных интервалов от 1с до 39ч. 59мин. 59с.
2. Дискретность программирования времени 1 с.
3. Возможность автоматического, либо ручного перехода от предыдущего интервала к последующему.
4.Возможность программирования включения до 20 объектов в каждом цикле путём замыкания механического контакта, соответствующего каждому из 20 объектов.
5. Возможность ускорения циклов в 100 раз (для проверок и контроля).
6. Работа с управляющей ЭВМ. ЭВМ может корректировать время каждого из 15 интервалов.
1.3. Устройство пвк
Программатор представляет собой электронное цифровое устройство, работа которого осуществляется по программе, задаваемой с помощью коммутирующих штырей на панелях ВРЕМЯ - ИНТЕРВАЛ и КОМАНДА - ИНТЕРВАЛ.
Состав и работу программатора изучить по упрощённой структурной схеме программатора (см. рис 1).
Формирователь синхроимпульсов (А2)
Служит для формирования набора частот, используемых блоками ПВК. Формирователь синхроимпульсов выполнен на базе кварцевого генератора с f=1МГц и с делением частоты до f1=Т00кГц, f2=10кГц, f3=1кГц, f4= 100Гц. Эти частоты передаются на схему управления A3. В случае включения переключателя К частоты по каждой линии увеличивается в 100 раз, что вызывает 100-кратное увеличение скорости работы.
Схема управления (A3)
Служит для:
-формирования кодов связи с ЭВМ;
-формирования синхроимпульсов счёта времени, интервала и т.д.;
-формирования сигналов начала-конца счёта времени интервала и циклов;
-управление регистром и т.д.;
Счётчик времени (А1) служит для отсчёта времени каждого из 15 интервалов. Счётчик рассчитан на максимальное время 39ч. 59мин. 59 с. С дискретностью счёта 1с.
Коммутатор ВРЕМЯ-ИНТЕРВАЛ (А5)
Представляет собой устройство типа матрицы, горизонтальные шины которого соответствуют номеру интервала от 1 до 15, а вертикальные - времени выдержки этого интервала. Время выдержки набирается штырями, которые вставляются в отверстия коммутатора в соответствии с необходимым временем выдержки в данном интервале. Назначение коммутатора - программирование времени выдержки каждого интервала.
Коммутатор ИНТЕРВАЛ - КОМАНДА (А10) также выполнен в виде матрицы, на шины которого поступают сигналы об интервалах (от 1 до 15), а с перпендикулярных шин снимают команды о включении 20 объектов. Объекты программируются штырями, вставленными в соответствующие отверстия матрицы. Время включённого состояния объектов определяется временем, запрограммированным на коммутаторе ВРЕМЯ - ИНТЕРВАЛ для данного интервала. Для контроля каждого из 20 каналов в коммутаторе ИНТЕРВАЛ - КОМАНДА имеются шестнадцатый столбец Р. Вставленные в его гнёзда штыри вызывают включение соответствующих объектов при нажатии кнопки РУЧНОЙ РЕЖИМ.
Регистр (А9) переключает на коммутаторе ИНТЕРВАЛ - КОМАНДА А10 последовательно интервалы от 1 до 15. При этом объекты, запрограммированные на включение, включаются через дешифратор команд АН, представляющий собой блок реле, контакты которых включают заданный объект.
Блок интервалов (А8) служит для индикации текущего времени интервала и номера интервала.
Дешифраторы А6 и А7 преобразуют коды десятичных чисел (по 4 разряда) в коды сегментов индикаторов.