Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан

Напол­нение фторопластовых ванн 1 производится из блока транспортировки и подачи химических реактивов с помощью сжатого воздуха, подава­емого электропневматическим клапаном 8. Каждая ванна закрывается фторопластовой крышкой, имеет электрический подогреватель 2 хими­ческих реактивов с автоматическим поддержанием заданной температу­ры и насос-эжектор 3 для удаления отработанных химических веществ. Насос-эжектор работает за счет разрежения, создаваемого потоком воды давлением не менее 0,4 МПа. При этом происходит смешивание реактива с водой в пропорции 1:20. Время химической обработки конт­ролируется реле.

Каскадная ванна 4, изготовленная из листового полипропилена, разделена разновысокими перегородками на три секции, что обеспечивает последовательный перелив деионизованной воды из секции в секцию. Отмываемые пластины в кассетах последовательно перемещают из треть­ей ванны во вторую, а затем в первую навстречу потоку воды. Вода для отмывки подается снизу через дно и решетку первой секции, а сбрасы­вается в слив через решетку и дно третьей секции. Для промывки ванн установка химической обработки оборудована рассеивателями 6 — миниатюрными кранами, изготовленными из сополимера, которые мелко распыляют деионизованную воду.

Под всеми ваннами установки находится поддон 5, представляющий собой ящик из древесностружечной плиты, облицованный листовым по­липропиленом, в нижней передней части которого установлены приборы, кнопки и ручки управления, сзади — воздуховод для подключения к вы­тяжной вентиляции, а снизу закреплены три вентиля 7 подачи водопро­водной воды и вентиль подачи деионизованной воды, управление кото­рыми производится с помощью стержней и маховиков, а также патру­бок для слива.

Вся площадь поддона-столешницы, не занятая ваннами, по их пери­метру закрыта перфорированными решетками, через которые происхо­дит отсос из воздуха продуктов химических реакций в вытяжную венти­ляцию. Блок обеспыливания, подающий очищенный воздух сверху вниз в виде ламинарного потока, создает воздушную завесу, которая преграждает поступление воздуха из помещения к месту химической обработки.

2.5 Термическое оборудование

Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоёв

Эпитаксия – процесс ориентированного наращивания, в результате которого образующаяся фаза закономерно продолжает кристаллическую решетку имеющейся фазы – подложки с образованием переходного эпитаксиального слоя. Установка наращивания содержит в своей конструкции следующие элементы: реактор, газовую систему, систему нагрева, систему управления процессом и вспомогательные устройства. Реакторы изготавливают из кварцевого стекла, коррозионно-стойкой стали, хромоникелевых сплавов. Реакторы установок эпитаксиального наращивания можно разделить на два типа: горизонтальный и вертикальный.