- •Конспект по предмету
- •Раздел 1 Технологический процесс обработки изделий микроэлектроники
- •Устройство для выращивания монокристаллического слитка вытягиванием из расплава:
- •Формирование слоев с заданными свойствами
- •Процессы формирования рисунка методом литографии
- •Формирование рисунка маски из резиста:
- •Последовательность получения оксидной маски на пластине:
- •Последовательность операций при формировании рисунка поликремния:
- •Последовательность получения рисунка алюминиевой коммутации, контактов и затвора в моп-имс:
- •Сборка и монтаж имс
- •Типы и основные характеристики подложек
- •Конструктивно-технологические особенности биполярных имс
- •Структуры биполярной кремниевой имс (а) и интегрального транзистора (б) (все размеры указаны в микрометрах):
- •Структуры конденсаторов для биполярных имс:
- •Электрическая схема (а) и топология (б) логического элемента:
- •1, 5, 7, 8 — Входы; 2 —наиболее положительный потенциал; 3 — выход; 4 — земля
- •Влияние конструктивно-технологических факторов на электрические параметры имс
- •Основные этапы технологии биполярных имс
- •Технологический процесс формирования биполярных полупроводниковых структур
- •Шаблон, используемый для создания области скрытого слоя коллектора, (а) и набор фотошаблонов для фотолитографии (б):
- •Основные конструктивно-технологические варианты мпд-имс
- •Конструкция мдп-транзистора имс:
- •Структура моп-транзистора, используемая для расчета:
- •Влияние физико-технологических факторов на параметры моп-имс
- •Базовый технологический процесс получения моп-имс
- •Технология моп-имс с кремниевым затвором
- •Основные этапы изготовления моп-имс с кремниевыми затворами:
- •Раздел2 Устройство, принцип работы, наладка и регулировки узлов и механизмов специального технологического оборудования
- •Классификация оборудования.
- •Особенности техники безопасности в п/п производстве.
- •2.2 Оборудование для создания и контроля чистых сред. Наладка и регулировка
- •Пылезащитные камеры с вертикальным ламинарным потоком воздуха для выполнения операций без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •Приборы для измерения параметров атмосферы производственных помещений
- •Гигрометры: а - волосяной, б - пленочный; 1 - груз, 2 -волос, 3 - стрелка, 4 - неравномерная шкала, 5 - пленочная мембрана
- •Анализатор запыленности:
- •Установки для очистки газов и воды
- •Приборы для измерения давления и расхода
- •Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •Ионизационный манометрический преобразователь:
- •Структурная схема ионизационно-термопарного вакуумметра вит-3:
- •2.3 «Оборудование для механической обработки полупроводниковых материалов»
- •Ориентация с помощью метода световых фигур.
- •Установка для световой ориентации монокристаллов:
- •Оптическая система установки световой ориентации монокристаллов:
- •Резка слитков на пластины.
- •«Алмаз 6м»
- •Станок резки слитков "Алмаз-6м":
- •Шпиндель станка "Алмаз-6м":
- •Барабан станка "Алмаз-6м":
- •Привод подачи слитка станка "Алмаз-6м":
- •Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка "Алмаз-6м":
- •«Шлифовальное оборудование»
- •1 Рельефный слой, 2 трещенковый слой, 3 дислокационный слой, 4 напряженный слой
- •Планетарный механизм для двухстороннего шлифования пластин
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку
- •2.4 Оборудование для химобработки
- •Автомат гидромеханической отмывки
- •Кинематическая схема агрегата (трека) автомата гидромеханической отмывки:
- •Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан
- •2.5 Термическое оборудование
- •Схемы реакторов для газовой эпитаксии
- •Реактор установки унэс-2п-ка
- •Система газораспределения эпитаксиальной установки
- •Скруббер установки эпитаксиального наращивания унэс-101
- •Оборудование для диффузии и окисления
- •Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки
- •Нагревательная камера термической диффузионной установки
- •Установка термической диффузии адс-6-100
- •Нагреватель диффузионной установки
- •Функциональная схема автоматической системы регулирования температуры термической диффузионной установки
- •Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
- •Программатор время - команда
- •1.2. Основные технические данные.
- •1.3. Устройство пвк
- •1.4. Работа пвк
- •2. Меры безопасности
- •Время-параметр
- •1.2. Основные технические требования
- •1.3. Устройство
- •1.4. Работа
- •2.6 Оборудование для элионной обработки
- •Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
- •Метод термического испарения
- •Метод распыления материалов ионной бомбардировкой
- •Испарители
- •Способы ионного распыления для осаждения тонких пленок
- •2.7 Оборудование для контактной фотопечати
- •Компоновочная схема эм-576
- •Блочная схема эм-576
- •Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
- •2.8 Оборудование для проекционной фотопечати
- •Привод подъема стола.
- •Система совмещения.
- •Система автофокусировки.
- •2.9 Оборудование для нанесения и проявления фоторезиста
- •Устройство нанесения фоторезиста:
- •2.10 Сборочное оборудование
- •Установка резки алмазными кругами:
- •Узел крепления алмазного круга:
- •Установка монтажа кристаллов эм-438а
- •Кинематическая схема установки эм-438а
- •Автомат присоединения кристаллов эм-4085
- •Назначение микроскопа мт-2
- •Технические данные
- •Устройство и работа микроскопа
- •Устройство и работа составных частей микроскопа
- •Оборудование для разварки межсоединений эм-4020б
- •Последовательность монтажа проволочных перемычек
- •Механизм микросварки
- •Механизм микросварки
- •Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
- •Возможные неисправности и методы их устранения
- •Оборудование для герметизации интегральных микросхем
- •Способы герметизации металлостеклянных и металлокерамических корпусов ис
- •Функциональная схема герметизации
- •Установка угп-50 для герметизации интегральных микросхем пластмассой
- •Раздел 3 Устройство, принцип работы наладка, регулировка специального технологического оборудования
- •Тема 1. Износ деталей машин.
- •Тема 2. Система планово-предупредительного ремонта (ппр).
- •Виды ппр.
- •Периодичность ремонта и нормы простоя оборудования при ремонте.
- •Организация ремонтного обслуживания цехах, участках и на предприятии.
- •Раздел 4 Ремонт специального технологического оборудования Основы технологии ремонта то
- •Алгоритм диагностики схемы синхронизации
- •Раздел 5 Контрольно-измерительное и испытательное оборудование
- •Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:
- •Устройство зондовой установки эм-6010
1.4. Работа пвк
Перед пуском ПВК программирует время каждого интервала и объекты, которые должны быть
включёнными в заданном интервале с помощью коммутаторов, /пример, см. Табл./
В программаторе КОМАНДА - ИНТЕРВАЛ имеется дополнительный вертикальный ряд Р / кроме
пятнадцати интервалов/. Штыри, вставляемые в ряд Р, дадут команду на включение
соответствующих им объектов в РУЧНОМ РЕЖИМЕ.
Органы управления и индикации ПВК показаны на рис.2.
При включении питания по цепям управления проходит сигнал СБРОС, устанавливающий блоки в
исходное состояние.
При нажатии кнопки ПУСК счётчик времени А1 начинает отсчёт времени первого интервала. При
этом регистр А9 включает шину ИНТ1 коммутатора А10, включаются объекты, для которых на
шине ИНТ1 вставлены штыри. Код времени со счётчика А1 поступает на шину коммутатора А5. При
этом код, набранный на программаторе, сравнивается с поступающим кодом. При совпадении кодов на РГ /А9/ подаётся сигнал ВК / например ВК-1/. Это означает, что время соответствующего
интервала истекло.
Если номер интервала, поступающий на коммутатор А10 совпадает с номером ВК, регистр выдаёт на схему управления A3 сигнал КОНЕЦ - ИНТЕРВАЛА, по которому производится СБРОС счётчика
времени А1 и сдвиг регистра А9 на следующий интервал. Включаются устройства,
запрограммированные в следующем интервале, начинается новый отсчёт времени.
2. Меры безопасности
2.1. ПВК питается напряжение 220В, 50 Гц. Следует это иметь в виду и не производит никаких
работ/ замену плат, коммутацию наборных панелей, смену предохранителей и т.п. при включённом
питании/.
Следует иметь ввиду, что на сетевом фильтре после отключения питания имеется напряжение ещё некоторое время. Поэтому контакты вилки после отключения её от сети следует закоротить на
нулевой шине.
A1 - Счётчик времени
А2 - Формирователь синхроимпульсов
A3 - Схема управления
А4 - Блок связи с ЭВМ
А5 - ВРЕМЯ-ИНТЕРВАЛ
А6, А7 - Дешифратор
А8 - Индикатор
А9 - Регистр
А10 - ИНТЕРВАЛ-КОМАНДА
А11 - Дешифратор команд
Рис 1. ПВК 15x20. Упрощённая структурная схема
Время-параметр
1.2. Основные технические требования
Число программируемых временных интервалов -15 Диапазон изменения выходного напряжения при Rh ≥ 1 кОм (0... 10)В. Скорость программного изменения выходного напряжения. (0,01.... 10) В/мин. Время выдержки установившегося выходного напряжения (0,1 ...999,9) мин. Возможность ускорения скорости работы в 10 раз.
1.3. Устройство
Программатор представляет собой электронное устройство, работа которого осуществляется по программе, задаваемой с помощью коммутационных штырей на СКОРОСТЬ-ИНТЕРВАЛ и ПАРАМЕТР-ИНТЕРВАЛ.
Состав и работу программатора можно проследить по упрощённой структурной схеме программатора /рис. 1./.
1.4. Работа
1.4.1. Формирователь синхроимпульсов А1 представляет собой генератор, на выходе которого установлен счётчик, позволяющий делить выходную частоту так, что на выходе ячейки имеется набор частот, отличающихся друг от друга в 10 раз. Синхрочастоты поступают на блок логических операций А2, который управляет работой прибора и управляет подачей синхроимпульсов на соответствующие блоки.
1.4.2. Задаваемое напряжение и скорость его нарастания в каждом из 15 временных интервалов программируются с помощью двух коммутаторов СКОРОСТЬ-ИНТЕРВАЛ /А6/ и ПАРАМЕТР ИНТЕРВАЛ /А 10/ токопроводящими штырями. Коммутаторы представляют собой программирующую матрицу с вертикальными и горизонтальными шинами, между которыми с помощью программирующих штырей можно создать гальваническую связь. Так как на одну, например горизонтальную шину, может быть подано несколько вертикальных, производится развязка с помощью диодов (образуются схемы И и ИЛИ) (см. рис. 2).
Коммутатор СКОРОСТЬ-ИНТЕРВАЛ имеет 15 шин, каждая из которых соответствует программируемому интервалу К1... KXV.
Пересекающие их 16 шин, позволяют в четырёх десятичных разрядах двоично-десятичного кода по каждому из 15 интервалов набрать скорость нарастания напряжения. Вследствие того, что программировать легче не скорость, а обратную ей величину, время, за которое напряжение изменяется на 1 В - в указанном временном интервале набирают число N (сотки, десятки, единицы, десятые доли единиц) мин. Следовательно, скорость нарастания (убывания) напряжения :
В программаторе ПАРАМЕТР-ИНТЕРВАЛ шипы, пересекающие шипы,
соответствующие каждому из пятнадцати интервалов, служат для программирования
напряжения, которое достигается в данном интервале.
В примере, указанном на рис. , U=l 0,23В, заданное в интервале I, должно возрастать со
скоростью.
Кроме шин, соответствующих времени, в коммутаторе ПАРАМЕТР-ИНТЕРВАЛ имеется
ещё три шины, расширяющие его возможности.
Шина ВРЕМЯ. Если в гнездо одного из интервалов по шине ВРЕМЯ вставлен штырь, то
набранное в этом интервале число соответствует времени выдержки напряжения,
заданного в предыдущем интервале. Если штыря нет, число соответствует времени
нарастания напряжения на 0,1В.
Шина СДВИГ. Если по этой шине вставлен штырь и нажатой кнопке АВ-ТОМ.РЕЖИМ,
после отработки программы интервала произойдёт автоматический переход к
следующему интервалу.
Шина РЕВЕРС. При вставленном штыре на этой шине напряжение растёт вверх, при
отсутствии штыря - вниз.
1.4.3. Счётчик А4 представляет собой двоично-десятичный счётчик, тетрады которого
соответствуют десятым долям, единицам, десяткам и сотням числа, представляющего
собой время возрастания напряжения на 0,1В.
Из блока логических операций А2 на счётчик А4 подаются импульсы счёта (CuAl). Код
числа, имеющегося в счётчике, подаётся на шины программатора А6. При совпадении
этого кода с кодом, набранном на одной из шин коммутатора, на выходе коммутатора
появляются код номера интервала (К1.. .KXV). Этот код даётся на регистр А7.
1.4.4.Регистр А7 является распределителем сигнала по 15 временным интервалам в
соответствии с кодом интервала, приходящего с коммутатора СКОРОСТЬ-ИНТЕРВАЛ.
Если номер интервала, приходящий с коммутатора СКОРОСТЬ-ИНТЕРВАЛ совпадает с
кодом, имеющемся на внутреннем счётчике интервала, выдается сигнал СКОРОСТЬ,
поступающий на блок логических операций А2. Наличие сигнала СКОРОСТЬ
свидетельствует о том, что напряжение на выходе коммутатора ПАРАМЕТР-ИНТЕРВАЛ
следует изменить на одну дискрету. Внутренний четырёхразрядный двоичный счётчик,
имеющий на ячейке регистр А7 переключается импульсом СДВИГ с блока логических
операций. Количество импульсов СДВИГ должно соответствовать количеству импульсов
CuAl, поступающих на счётчик А4.
По сигналу Скорость блок логических операций А2 сбрасывает счётчик А4, сбрасывает
счётчик регистра А7, а на счётчик А8 подаёт импульс СпА2 и ЗНАК (направление
изменения напряжения). Состояние счётчика А8 изменяется на одну дискрету и выдаётся
через ячейку согласования А5 на цифроаналоговый преобразователь A3, преобразующий
поступающий код в выходное напряжение.
В соответствии со своим назначением (см. начало п. 1.4.4.) регистр А7 выдаёт
последовательно на входы коммутатора А10 ПАРЕМЕТР-ИНТЕРВАЛ сигналы: ИНГ1,
ИНГ2... ИНГ15. Код напряжения, запрограммированный в каждом интервале, подаётся по
десяти шинам на ячейку сравнения А9.
Код напряжения, поступающий с коммутатора А 10 ПАРАМЕТР-ИНТЕРВАЛ,
сравнивается схемой сравнения А9 с кодом, поступающим со счётчика А8. Равенство этих
кодов означает, что напряжение достигло уровня, запрограммированного в данном
интервале коммутатора А10. Этот момент определяется сигналом КОНЕЦ ИНТЕРВАЛА,
возникающем на ячейке сравнения. После этого происходит переход с следующий
интервал.
Таким образом, счётчик А4 отсчитывает интервал времени для повышения напряжения на
одну дискрету до тех пор, пока напряжение на счётчике А8 сравняется в напряжение,
заданным на коммутаторе А9.
До этого времени импульсы СДВИГ на регистр А7 не подаются, а с регистра А7 подаётся
сигнал СКОРОСТЬ каждый раз, когда код с кодировщика А6 совпадает с кодом
внутреннего счётчика регистра А7. Сигнал КОНЕЦ ИНТЕРВАЛА позволяет "сдвинуть"
регистр А7 на следующий интервал и работа устройства повторяется.
1.4.5. Органы управления прибором см.рис.З
2. Меры безопасности
В приборе имеются конденсаторы, сохраняющие заряд даже после выключения
напряжения.
Поэтому соблюдать осторожность при включенном приборе. После выключения прибора
перед работами выждать 3-4 мин.
3. Выполнение работы.
3.1 Собрать схему по рис.4.
А1- Формирователь синхроимпульсов; А2 - Блок логических операций; A3 - Преобразователь в аналоговый сигнал; А4 - Счётчик периода; А5 - Ячейка согласования; А6 - Коммутатор СКОРОСТЬ-ИНТЕРВЛ; А7 - регистр -распределитель; А8 - Счётчик параметра (напряжения); А9 - Ячейка сравнения; А10 -Коммутатор ПАРАМЕТР -ИНТЕРВАЛ; All - Блок индикации и сигнализации.
Рис1. Программатор 15 ИПП-1 Упрощенная схема электрическая структурная