Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку

Он предназначен для окончательного механического и химико-механического полирования пластин диаметром 150 мм. Обрабатываемые пластины наклеены на блок 4, закрепленный на диске 3. П/а имеет 4 прижимных диска, закрепленных на штоках пневмоцилиндра 1 на шариковых подшипниках и может свободно вращаться и устанавливаться на поверхности полировального стола 5.

Полировальный стол закрепляется на карусели 6, которая получает вращение от Э/Д 9 через ременную передачу и 2 пары цилиндрических зубчатых колес. Вращается карусель на двух радиальных и упорном шариковых подшипниках с частотой 80 об/мин, при этом прижимные диски так же начинают вращаться за счет трения о полировальный стол, совершая сложное планетарное движение. Из дозатора 2 на полировальник подается полирующая суспензия, стекающая со стола в сборный блок 7 и вновь подаваемая в дозатор насосом 8. Прижим пластин к полировальному столу осуществляется пневмацилиндрами, питаемыми сжатым воздухом через фильтр 10 и редуктор 11. Контролируется усилие прижима механизма 12. Клапаны 13 переключают подачу воздуха в верхнюю и нижнюю полость цилиндра и обеспечивают прижим или подъем пластин. Для обеспечения плавного перемещения штока, воздух в цилиндры подается через включение параллельно обратный клапан 15 и дроссель 14. При подаче воздуха он проходит в цилиндр через обратный клапан, а вытесняется из другой полости через дроссель, что ограничивает скорость перемещения штока. Для стабилизации температуры процесса полировальный стол 5 и прижимные диски 3 охлаждаются проточной водой, поступающей в них через Э/М клапан и управляемые манжетами коллекторы.

Неплоскостность пластины во время одностороннего механического шлифования и полирования во многом определяется качеством приклеивания пластин к блокам.

2.4 Оборудование для химобработки

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОПЕРАЦИЙ ОЧИСТКИ

Автомат гидромеханической отмывки

Автомат гидромеханической отмывки, предназна­ченный для комбинированной очистки поверхностей полупроводнико­вых пластин химическими реактивами и щеткой перед нанесением фото­резиста, окислением, диффузией, осаждением пленок и после удаления фоторезиста, выпускается двух исполнений: с четырьмя и двумя трека­ми (унифицированными устройствами). Таким образом, производитель­ность автомата первого исполнения в два раза выше. Подача полупровод­никовых пластин в автомат производится в унифицированных кассетах емкостью 25 пластин. Отмытые пластины также помещаются в кассету. Работа автомата построена так, что оператор к полупроводниковым пла­стинам не прикасается.

Автомат смонтирован в сварном металлическом каркасе. Основные органы управления (пульт) расположены сверху в левой части автомата, а треки — в правой. Автомат должен быть обязательно подключен к вы­тяжной вентиляции.

Механическая часть каждого трека представляет собой агрегат, кинематическая схема которого показана на риcунке ниже. Ознакомившись с устройством одного агрегата, можно понять работу автомата. Агрегат 128 состоит из механизмов загрузки и разгрузки, каретки подачи полупро­водниковых пластин, механизма перемещения щетки, центрифуги и ванны.

Механизм загрузки начинает работать после установки унифици­рованной кассеты с полупроводниковыми пластинами на каретку 30 и включения агрегата. Пневмоцилиндр 24 наклоняет каретку 30 с кассе­той к пневматическому лотку 4, и привод, состоящий из электродвига­теля 28, ременной передачи и кулачка 26, вращает винт, который своей гайкой, связанной с кассетой, перемещает ее на шаг, равный 4,75 мм. Управляют перемещением кассеты кулачок 26 и микровыключатель 25. В это время срабатывает пневмосистема и потоком воздуха из сопла 31 полупроводниковая пластина из кассеты сдувается на пневматический лоток 4, а с него на каретку 6, приводом перемещения кассеты управля­ют микровыключателями 25, 2 и 29. Наличие полупроводниковой пла­стины на пневматическом лотке контролируется фотодатчиком.